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河源市連平縣、焦作市孟州市、徐州市云龍區(qū)、常德市澧縣、遂寧市大英縣、洛陽市偃師區(qū)、黔東南岑鞏縣、臨汾市浮山縣
威海市榮成市、恩施州恩施市、溫州市洞頭區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、德州市陵城區(qū)、黔東南黃平縣、三亞市崖州區(qū)、常德市桃源縣、漢中市寧強(qiáng)縣
盤錦市雙臺(tái)子區(qū)、安陽市龍安區(qū)、襄陽市谷城縣、濱州市鄒平市、成都市金堂縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、廣西柳州市城中區(qū)、忻州市忻府區(qū)、酒泉市敦煌市、黔西南普安縣
咸寧市嘉魚縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、葫蘆島市興城市、甘孜爐霍縣、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市
焦作市溫縣、成都市雙流區(qū)、撫州市黎川縣、洛陽市欒川縣、安慶市望江縣、荊州市石首市、沈陽市和平區(qū)、鹽城市東臺(tái)市、雞西市城子河區(qū)
漯河市源匯區(qū)、上海市閔行區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、廣西南寧市隆安縣、茂名市信宜市、楚雄南華縣、金昌市永昌縣
四平市公主嶺市、紹興市嵊州市、運(yùn)城市萬榮縣、咸寧市通山縣、長治市壺關(guān)縣、臨沂市費(fèi)縣、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、果洛瑪沁縣、天津市寧河區(qū)
長沙市天心區(qū)、天水市秦安縣、廣西南寧市馬山縣、宣城市郎溪縣、長春市二道區(qū)、五指山市毛道、南陽市桐柏縣
廣西百色市田陽區(qū)、濰坊市臨朐縣、西寧市城北區(qū)、哈爾濱市依蘭縣、太原市尖草坪區(qū)、東莞市沙田鎮(zhèn)、溫州市甌海區(qū)、黔東南劍河縣
淮北市相山區(qū)、榆林市佳縣、南充市嘉陵區(qū)、武漢市武昌區(qū)、商丘市睢縣、屯昌縣屯城鎮(zhèn)、呂梁市交口縣
白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、通化市二道江區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、中山市石岐街道、婁底市雙峰縣、晉中市和順縣
東方市天安鄉(xiāng)、德州市夏津縣、忻州市偏關(guān)縣、吉安市安福縣、貴陽市清鎮(zhèn)市
蘭州市西固區(qū)、黔南都勻市、綏化市肇東市、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、聊城市莘縣、紅河個(gè)舊市、肇慶市端州區(qū)、延安市黃龍縣、麗江市寧蒗彝族自治縣
天水市甘谷縣、?？谑忻捞m區(qū)、福州市平潭縣、武威市天祝藏族自治縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、西寧市湟源縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗
銅川市印臺(tái)區(qū)、漳州市東山縣、重慶市江津區(qū)、上海市松江區(qū)、郴州市蘇仙區(qū)
新余市渝水區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、南京市鼓樓區(qū)、張家界市桑植縣、大理漾濞彝族自治縣、東方市江邊鄉(xiāng)、亳州市渦陽縣
廣西賀州市昭平縣、延安市甘泉縣、肇慶市四會(huì)市、株洲市茶陵縣、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、宜賓市長寧縣、德州市德城區(qū)
陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、太原市古交市、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、連云港市贛榆區(qū)、九江市瑞昌市、定安縣富文鎮(zhèn)、樂山市沐川縣、東營市河口區(qū)、廣西賀州市昭平縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、珠海市香洲區(qū)、齊齊哈爾市鐵鋒區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、紅河彌勒市、涼山冕寧縣、德州市禹城市
深圳市光明區(qū)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、六安市金寨縣、咸陽市武功縣、遂寧市安居區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)
武威市涼州區(qū)、涼山雷波縣、平頂山市汝州市、懷化市鶴城區(qū)、煙臺(tái)市萊州市、青島市膠州市、文昌市龍樓鎮(zhèn)、東莞市塘廈鎮(zhèn)、淄博市臨淄區(qū)、玉樹治多縣
南昌市安義縣、綿陽市三臺(tái)縣、珠海市香洲區(qū)、海南興?？h、上海市青浦區(qū)、濟(jì)寧市任城區(qū)、定安縣嶺口鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、大連市長?？h、廣西河池市南丹縣、北京市懷柔區(qū)、上海市金山區(qū)、寶雞市岐山縣、咸陽市彬州市
大理云龍縣、陽泉市平定縣、重慶市石柱土家族自治縣、九江市德安縣、伊春市湯旺縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、延安市子長市、中山市小欖鎮(zhèn)
黔東南黎平縣、通化市梅河口市、懷化市洪江市、榆林市定邊縣、甘南臨潭縣、臨汾市堯都區(qū)、徐州市豐縣、德州市慶云縣、連云港市東?？h、郴州市桂陽縣
寶雞市岐山縣、平?jīng)鍪谐缧趴h、岳陽市岳陽樓區(qū)、天水市麥積區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、六盤水市水城區(qū)、臨夏廣河縣
天水市清水縣、南昌市東湖區(qū)、揚(yáng)州市江都區(qū)、廈門市思明區(qū)、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、合肥市包河區(qū)、運(yùn)城市稷山縣
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渭南市華陰市、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、渭南市潼關(guān)縣、南昌市東湖區(qū)、泰安市岱岳區(qū)、麗江市永勝縣、鄭州市滎陽市、廣西百色市靖西市
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廣西梧州市藤縣、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、延安市黃龍縣、杭州市上城區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)
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重慶市忠縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、蘇州市常熟市、黃岡市麻城市、懷化市新晃侗族自治縣、呂梁市文水縣、楚雄雙柏縣
菏澤市曹縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、德州市慶云縣、甘孜石渠縣、白城市洮南市、廣西賀州市八步區(qū)、永州市寧遠(yuǎn)縣、果洛甘德縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、錦州市北鎮(zhèn)市
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邵陽市綏寧縣、榆林市吳堡縣、上海市浦東新區(qū)、臨沂市沂南縣、貴陽市修文縣、聊城市莘縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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