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東莞市橫瀝鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、葫蘆島市建昌縣、重慶市城口縣、榆林市定邊縣、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)
濱州市無(wú)棣縣、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、成都市邛崍市、南平市浦城縣、大慶市肇源縣、駐馬店市西平縣
贛州市章貢區(qū)、張家界市慈利縣、五指山市通什、宜昌市伍家崗區(qū)、忻州市河曲縣、孝感市孝昌縣、益陽(yáng)市赫山區(qū)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、孝感市安陸市、甘孜新龍縣
咸陽(yáng)市渭城區(qū)、白沙黎族自治縣南開(kāi)鄉(xiāng)、黃南尖扎縣、金華市東陽(yáng)市、天津市寶坻區(qū)、武漢市漢陽(yáng)區(qū)、宜賓市南溪區(qū)、重慶市萬(wàn)州區(qū)、資陽(yáng)市安岳縣
廣西柳州市柳南區(qū)、漯河市郾城區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、牡丹江市東寧市、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、合肥市包河區(qū)、青島市即墨區(qū)、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、撫順市東洲區(qū)、天津市濱海新區(qū)
大慶市薩爾圖區(qū)、葫蘆島市興城市、廣西百色市平果市、曲靖市馬龍區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、西安市臨潼區(qū)
畢節(jié)市大方縣、重慶市黔江區(qū)、南京市玄武區(qū)、重慶市大渡口區(qū)、中山市東區(qū)街道、九江市柴桑區(qū)、重慶市永川區(qū)、湛江市霞山區(qū)
哈爾濱市呼蘭區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、廣西河池市天峨縣、合肥市巢湖市、南昌市青云譜區(qū)、東莞市東城街道、南平市松溪縣、煙臺(tái)市萊州市、渭南市潼關(guān)縣、揚(yáng)州市儀征市
青島市膠州市、無(wú)錫市錫山區(qū)、杭州市拱墅區(qū)、大理鶴慶縣、昆明市呈貢區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、安順市西秀區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)
湘西州保靖縣、中山市東區(qū)街道、黔西南興仁市、珠海市斗門(mén)區(qū)、德州市德城區(qū)、成都市金堂縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、伊春市友好區(qū)、新鄉(xiāng)市延津縣、淮安市清江浦區(qū)
鞍山市海城市、濰坊市坊子區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市、寧德市壽寧縣、重慶市綦江區(qū)、德州市武城縣
天水市張家川回族自治縣、運(yùn)城市河津市、濰坊市高密市、涼山昭覺(jué)縣、荊門(mén)市京山市、大同市云州區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、昭通市永善縣、平頂山市新華區(qū)
本溪市本溪滿族自治縣、定安縣翰林鎮(zhèn)、周口市西華縣、白城市洮北區(qū)、淮南市壽縣、安慶市懷寧縣
淄博市淄川區(qū)、鄭州市鞏義市、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、德陽(yáng)市什邡市、寧波市海曙區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、馬鞍山市和縣
上海市閔行區(qū)、懷化市鶴城區(qū)、清遠(yuǎn)市英德市、甘南迭部縣、晉中市平遙縣
渭南市大荔縣、紹興市上虞區(qū)、徐州市銅山區(qū)、呂梁市文水縣、自貢市貢井區(qū)、德州市武城縣、杭州市拱墅區(qū)、孝感市孝南區(qū)、商丘市梁園區(qū)、銅陵市郊區(qū)
邵陽(yáng)市雙清區(qū)、平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、六盤(pán)水市水城區(qū)、平頂山市湛河區(qū)、重慶市渝中區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)、澄邁縣文儒鎮(zhèn)、揭陽(yáng)市揭東區(qū)、南京市高淳區(qū)
懷化市靖州苗族侗族自治縣、四平市鐵東區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、昭通市水富市、黔東南臺(tái)江縣、臨高縣多文鎮(zhèn)、成都市武侯區(qū)、重慶市巫溪縣、淮南市田家庵區(qū)
廣州市越秀區(qū)、杭州市江干區(qū)、新余市分宜縣、揚(yáng)州市寶應(yīng)縣、懷化市中方縣、開(kāi)封市尉氏縣、淄博市高青縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗
榆林市府谷縣、吉安市永新縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、湛江市吳川市、南平市邵武市、清遠(yuǎn)市佛岡縣
涼山昭覺(jué)縣、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、昆明市呈貢區(qū)、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、常德市津市市、渭南市白水縣、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣
陽(yáng)江市江城區(qū)、綿陽(yáng)市安州區(qū)、南充市閬中市、昌江黎族自治縣王下鄉(xiāng)、寧夏吳忠市利通區(qū)、東莞市厚街鎮(zhèn)、東營(yíng)市廣饒縣、成都市郫都區(qū)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)
張家界市慈利縣、滁州市鳳陽(yáng)縣、渭南市富平縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、臨汾市大寧縣、平頂山市湛河區(qū)
六盤(pán)水市鐘山區(qū)、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、南陽(yáng)市南召縣、樂(lè)山市沙灣區(qū)、運(yùn)城市臨猗縣
襄陽(yáng)市襄州區(qū)、麗江市永勝縣、沈陽(yáng)市新民市、天津市濱海新區(qū)、衡陽(yáng)市衡陽(yáng)縣、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市大茂鎮(zhèn)
南陽(yáng)市方城縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、三門(mén)峽市陜州區(qū)、茂名市化州市、棗莊市山亭區(qū)
大慶市龍鳳區(qū)、中山市東鳳鎮(zhèn)、臺(tái)州市天臺(tái)縣、安康市平利縣、哈爾濱市平房區(qū)、昆明市晉寧區(qū)、銅仁市松桃苗族自治縣、南陽(yáng)市社旗縣
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西寧市大通回族土族自治縣、撫州市南城縣、聊城市東阿縣、洛陽(yáng)市孟津區(qū)、金華市金東區(qū)、杭州市西湖區(qū)、宣城市績(jī)溪縣
西寧市湟源縣、鹽城市射陽(yáng)縣、?？谑旋埲A區(qū)、菏澤市成武縣、蘇州市吳江區(qū)、黃山市黃山區(qū)、濟(jì)南市歷下區(qū)、南平市建陽(yáng)區(qū)、宿州市碭山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市土默特左旗
昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、文山麻栗坡縣、迪慶香格里拉市、荊門(mén)市京山市、平?jīng)鍪徐o寧縣、太原市婁煩縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、錦州市凌河區(qū)
儋州市雅星鎮(zhèn)、慶陽(yáng)市環(huán)縣、廣西柳州市柳南區(qū)、佛山市順德區(qū)、遵義市仁懷市、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)
珠海市斗門(mén)區(qū)、永州市江永縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、張掖市山丹縣、商丘市夏邑縣、濰坊市安丘市、武威市涼州區(qū)
中山市南頭鎮(zhèn)、常州市天寧區(qū)、郴州市北湖區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、東莞市大朗鎮(zhèn)、呂梁市離石區(qū)
巴中市南江縣、金華市磐安縣、上海市金山區(qū)、十堰市鄖西縣、巴中市恩陽(yáng)區(qū)
咸寧市嘉魚(yú)縣、茂名市電白區(qū)、眉山市仁壽縣、鶴壁市鶴山區(qū)、涼山德昌縣、撫順市新賓滿族自治縣、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣、大理賓川縣
渭南市澄城縣、三門(mén)峽市盧氏縣、湛江市坡頭區(qū)、濟(jì)南市商河縣、中山市民眾鎮(zhèn)
樂(lè)東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、甘孜巴塘縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、紅河蒙自市
廣西河池市天峨縣、文山馬關(guān)縣、湛江市赤坎區(qū)、廣州市白云區(qū)、杭州市淳安縣
紹興市上虞區(qū)、沈陽(yáng)市于洪區(qū)、九江市都昌縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、黔南長(zhǎng)順縣、六盤(pán)水市六枝特區(qū)
重慶市奉節(jié)縣、廣西河池市天峨縣、沈陽(yáng)市康平縣、黑河市五大連池市、濟(jì)寧市嘉祥縣、鐵嶺市昌圖縣、忻州市代縣、鶴壁市山城區(qū)、鹽城市阜寧縣
哈爾濱市呼蘭區(qū)、泰安市新泰市、阜新市新邱區(qū)、海西蒙古族天峻縣、重慶市奉節(jié)縣、北京市密云區(qū)、齊齊哈爾市拜泉縣
海西蒙古族都蘭縣、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、廣西南寧市上林縣、太原市尖草坪區(qū)、五指山市通什
遂寧市安居區(qū)、天津市東麗區(qū)、揭陽(yáng)市榕城區(qū)、本溪市平山區(qū)、嘉興市秀洲區(qū)、煙臺(tái)市福山區(qū)、延安市富縣、天津市濱海新區(qū)、安慶市太湖縣
自貢市大安區(qū)、伊春市伊美區(qū)、紅河河口瑤族自治縣、內(nèi)江市資中縣、澄邁縣福山鎮(zhèn)、大理永平縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、定西市通渭縣、舟山市定海區(qū)
平頂山市郟縣、沈陽(yáng)市遼中區(qū)、宣城市寧國(guó)市、湛江市麻章區(qū)、韶關(guān)市始興縣、五指山市番陽(yáng)、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)、太原市陽(yáng)曲縣、泉州市惠安縣、咸寧市通山縣
雙鴨山市四方臺(tái)區(qū)、遵義市湄潭縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、龍巖市永定區(qū)、恩施州巴東縣、廣元市利州區(qū)、運(yùn)城市絳縣、重慶市渝北區(qū)、蚌埠市龍子湖區(qū)
大慶市讓胡路區(qū)、涼山甘洛縣、濟(jì)寧市微山縣、泰州市靖江市、江門(mén)市新會(huì)區(qū)、遼源市東遼縣、寶雞市扶風(fēng)縣、海西蒙古族天峻縣
昆明市祿勸彝族苗族自治縣、果洛瑪沁縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、上海市松江區(qū)、九江市永修縣、惠州市惠東縣
呂梁市中陽(yáng)縣、東方市感城鎮(zhèn)、常州市新北區(qū)、榆林市府谷縣、涼山木里藏族自治縣、韶關(guān)市新豐縣、中山市中山港街道、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、無(wú)錫市錫山區(qū)、廣西桂林市荔浦市
宣城市宣州區(qū)、遵義市仁懷市、遼源市西安區(qū)、大同市廣靈縣、益陽(yáng)市桃江縣、宜昌市興山縣、重慶市巴南區(qū)
阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、寧夏吳忠市鹽池縣、煙臺(tái)市萊州市、渭南市韓城市、徐州市賈汪區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、北京市懷柔區(qū)、開(kāi)封市通許縣
九江市彭澤縣、河源市龍川縣、阜陽(yáng)市潁上縣、長(zhǎng)春市德惠市、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、甘孜九龍縣
贛州市石城縣、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)、楚雄永仁縣、永州市道縣、銅仁市江口縣、涼山甘洛縣、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、南通市通州區(qū)、駐馬店市上蔡縣、信陽(yáng)市潢川縣
吉林市樺甸市、廣西防城港市上思縣、宿州市蕭縣、果洛甘德縣、北京市豐臺(tái)區(qū)、呂梁市興縣、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、湘潭市岳塘區(qū)、長(zhǎng)治市沁縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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