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濟(jì)南市商河縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、綏化市慶安縣、肇慶市四會(huì)市、淄博市張店區(qū)、廣西玉林市北流市、沈陽(yáng)市康平縣、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣、洛陽(yáng)市西工區(qū)
濰坊市坊子區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、慶陽(yáng)市慶城縣、寧夏吳忠市鹽池縣、上饒市廣信區(qū)
楚雄元謀縣、內(nèi)蒙古通遼市霍林郭勒市、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、廣安市前鋒區(qū)、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、宜春市銅鼓縣、深圳市龍崗區(qū)、臨汾市蒲縣、濟(jì)南市市中區(qū)、湘西州花垣縣
忻州市定襄縣、銅陵市銅官區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、上饒市玉山縣、沈陽(yáng)市于洪區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、撫順市望花區(qū)、廣安市武勝縣
恩施州恩施市、臨沂市費(fèi)縣、七臺(tái)河市新興區(qū)、瓊海市大路鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、丹東市鳳城市、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
宣城市績(jī)溪縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、保山市隆陽(yáng)區(qū)、聊城市冠縣、信陽(yáng)市浉河區(qū)、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市平順縣、懷化市中方縣、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、孝感市漢川市
儋州市蘭洋鎮(zhèn)、漳州市詔安縣、周口市鄲城縣、重慶市黔江區(qū)、黔西南安龍縣、淮安市洪澤區(qū)
陽(yáng)泉市礦區(qū)、阜陽(yáng)市界首市、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)、盤(pán)錦市雙臺(tái)子區(qū)、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)
朔州市平魯區(qū)、郴州市永興縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、西安市未央?yún)^(qū)、咸寧市咸安區(qū)、曲靖市羅平縣、咸陽(yáng)市永壽縣
隴南市文縣、廣西賀州市富川瑤族自治縣、遂寧市大英縣、寧夏銀川市靈武市、南昌市西湖區(qū)、十堰市竹溪縣、咸寧市通城縣
陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、葫蘆島市連山區(qū)、淮南市八公山區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、白城市洮南市、衡陽(yáng)市衡山縣、眉山市彭山區(qū)、襄陽(yáng)市宜城市、茂名市化州市、杭州市余杭區(qū)
酒泉市玉門(mén)市、鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市、廣西崇左市憑祥市、杭州市淳安縣、內(nèi)江市資中縣、麗水市遂昌縣、淮北市相山區(qū)、瀘州市江陽(yáng)區(qū)
黔南獨(dú)山縣、天津市南開(kāi)區(qū)、大理云龍縣、定安縣新竹鎮(zhèn)、廣西桂林市靈川縣、麗水市縉云縣、湘西州古丈縣、重慶市南川區(qū)、晉中市靈石縣
廈門(mén)市集美區(qū)、德州市武城縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、廣西百色市右江區(qū)、遵義市習(xí)水縣、莆田市涵江區(qū)、無(wú)錫市梁溪區(qū)
內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、泉州市石獅市、寧波市北侖區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、馬鞍山市博望區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、錦州市古塔區(qū)、紅河彌勒市
涼山德昌縣、恩施州建始縣、隴南市禮縣、玉溪市江川區(qū)、十堰市竹溪縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、吉林市豐滿(mǎn)區(qū)
濱州市惠民縣、大理彌渡縣、上饒市婺源縣、綿陽(yáng)市游仙區(qū)、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣
遵義市習(xí)水縣、江門(mén)市新會(huì)區(qū)、郴州市北湖區(qū)、五指山市通什、衢州市開(kāi)化縣、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)
黃山市祁門(mén)縣、南陽(yáng)市淅川縣、安陽(yáng)市湯陰縣、德陽(yáng)市什邡市、揭陽(yáng)市揭東區(qū)、東營(yíng)市東營(yíng)區(qū)、荊門(mén)市掇刀區(qū)
惠州市惠陽(yáng)區(qū)、福州市倉(cāng)山區(qū)、西寧市城東區(qū)、六盤(pán)水市六枝特區(qū)、泉州市南安市、金華市東陽(yáng)市、中山市大涌鎮(zhèn)、揭陽(yáng)市普寧市、肇慶市端州區(qū)
樂(lè)山市夾江縣、咸陽(yáng)市秦都區(qū)、大理鶴慶縣、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、五指山市水滿(mǎn)、運(yùn)城市聞喜縣、荊門(mén)市沙洋縣、黃山市徽州區(qū)、荊州市公安縣
酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、贛州市尋烏縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、文山馬關(guān)縣、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、黃山市屯溪區(qū)、西寧市湟中區(qū)、大理彌渡縣
廣西賀州市鐘山縣、儋州市中和鎮(zhèn)、本溪市南芬區(qū)、廣西來(lái)賓市武宣縣、慶陽(yáng)市華池縣、宜賓市高縣、菏澤市鄆城縣
上海市黃浦區(qū)、成都市都江堰市、延安市吳起縣、牡丹江市愛(ài)民區(qū)、上海市崇明區(qū)、銅仁市江口縣、宜昌市西陵區(qū)、定西市渭源縣、西安市蓮湖區(qū)、黔南甕安縣
銅川市耀州區(qū)、北京市石景山區(qū)、漢中市寧強(qiáng)縣、瀘州市瀘縣、杭州市余杭區(qū)、南通市通州區(qū)
大理彌渡縣、重慶市江北區(qū)、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、淮安市淮陰區(qū)、阜新市新邱區(qū)、深圳市龍華區(qū)、文昌市公坡鎮(zhèn)
青島市嶗山區(qū)、臨汾市吉縣、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、寶雞市千陽(yáng)縣、忻州市定襄縣
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溫州市鹿城區(qū)、寧夏吳忠市青銅峽市、白沙黎族自治縣南開(kāi)鄉(xiāng)、無(wú)錫市宜興市、錦州市凌河區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣、撫順市撫順縣、株洲市石峰區(qū)
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揭陽(yáng)市普寧市、東營(yíng)市廣饒縣、信陽(yáng)市平橋區(qū)、廣西南寧市上林縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、鞍山市千山區(qū)、安慶市宜秀區(qū)、文昌市潭牛鎮(zhèn)、日照市五蓮縣、延邊安圖縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠(chǎng)商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶(hù)擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱(chēng)指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿(mǎn)足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱(chēng)，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿(mǎn)足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類(lèi)關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類(lèi)別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠(chǎng)商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠(chǎng)商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠(chǎng)商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類(lèi)產(chǎn)品基本完成客戶(hù)側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類(lèi)是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線(xiàn)必需的PX（物理和X射線(xiàn)）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線(xiàn)類(lèi)量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專(zhuān)利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專(zhuān)利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類(lèi)半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線(xiàn)負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠(chǎng)商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠(chǎng)建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線(xiàn)、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線(xiàn)、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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