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東莞市大朗鎮(zhèn)、荊門市掇刀區(qū)、遵義市習(xí)水縣、邵陽市綏寧縣、焦作市溫縣、襄陽市南漳縣、濟(jì)南市鋼城區(qū)、黔東南麻江縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、安陽市龍安區(qū)
定西市漳縣、六盤水市六枝特區(qū)、河源市和平縣、洛陽市欒川縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、紹興市新昌縣、玉溪市澄江市、四平市公主嶺市
黃岡市黃州區(qū)、成都市武侯區(qū)、廣州市荔灣區(qū)、遵義市仁懷市、天津市武清區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、萬寧市萬城鎮(zhèn)、安康市漢陰縣、永州市道縣、直轄縣天門市、大同市廣靈縣、岳陽市湘陰縣、南陽市西峽縣、廣西來賓市興賓區(qū)、溫州市蒼南縣
成都市邛崍市、太原市杏花嶺區(qū)、泰州市泰興市、寧夏固原市涇源縣、通化市柳河縣
漢中市留壩縣、長治市武鄉(xiāng)縣、齊齊哈爾市克山縣、大理劍川縣、榆林市吳堡縣、安慶市懷寧縣、臨汾市翼城縣、衢州市衢江區(qū)、齊齊哈爾市泰來縣
昆明市晉寧區(qū)、潮州市饒平縣、廣元市劍閣縣、紅河彌勒市、上海市黃浦區(qū)、孝感市漢川市、廣西北海市鐵山港區(qū)
棗莊市市中區(qū)、東莞市麻涌鎮(zhèn)、大慶市龍鳳區(qū)、濰坊市寒亭區(qū)、臺州市溫嶺市
邵陽市隆回縣、信陽市平橋區(qū)、中山市沙溪鎮(zhèn)、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、臨高縣博厚鎮(zhèn)
玉樹囊謙縣、紹興市新昌縣、太原市清徐縣、寧夏固原市涇源縣、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、蘭州市紅古區(qū)、菏澤市成武縣、衡陽市雁峰區(qū)、平頂山市寶豐縣
六安市葉集區(qū)、果洛瑪沁縣、焦作市沁陽市、昭通市威信縣、保山市隆陽區(qū)、韶關(guān)市樂昌市、周口市淮陽區(qū)、玉樹曲麻萊縣、珠海市斗門區(qū)
廣西梧州市蒼梧縣、漳州市東山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、臨沂市平邑縣、甘孜稻城縣、黔南龍里縣、馬鞍山市雨山區(qū)、甘孜雅江縣、上饒市弋陽縣
德州市陵城區(qū)、撫順市順城區(qū)、儋州市大成鎮(zhèn)、牡丹江市林口縣、晉城市澤州縣、臨汾市洪洞縣、駐馬店市正陽縣
撫州市宜黃縣、寶雞市渭濱區(qū)、保山市龍陵縣、臨夏廣河縣、徐州市豐縣、曲靖市會澤縣、十堰市張灣區(qū)、晉城市陵川縣
甘孜丹巴縣、重慶市北碚區(qū)、駐馬店市遂平縣、安慶市太湖縣、徐州市沛縣、雅安市名山區(qū)
常州市天寧區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、昆明市嵩明縣、曲靖市馬龍區(qū)、大理永平縣、重慶市酉陽縣
廣西百色市右江區(qū)、寧波市江北區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、深圳市龍華區(qū)、武漢市新洲區(qū)、麗水市慶元縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、洛陽市宜陽縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
十堰市房縣、陽江市陽西縣、保山市施甸縣、紅河開遠(yuǎn)市、自貢市富順縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、寶雞市渭濱區(qū)
葫蘆島市興城市、臨汾市隰縣、吉安市新干縣、涼山金陽縣、紹興市上虞區(qū)
威海市榮成市、恩施州恩施市、溫州市洞頭區(qū)、蘭州市安寧區(qū)、德州市陵城區(qū)、黔東南黃平縣、三亞市崖州區(qū)、常德市桃源縣、漢中市寧強(qiáng)縣
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安慶市望江縣、泉州市洛江區(qū)、儋州市光村鎮(zhèn)、深圳市光明區(qū)、吉安市萬安縣、長沙市望城區(qū)、商丘市柘城縣、陽江市陽西縣
綏化市望奎縣、甘孜石渠縣、梅州市豐順縣、恩施州利川市、盤錦市雙臺子區(qū)
鐵嶺市鐵嶺縣、杭州市淳安縣、錦州市古塔區(qū)、煙臺市萊陽市、長春市農(nóng)安縣、南平市建陽區(qū)、臨高縣多文鎮(zhèn)、濟(jì)南市商河縣、重慶市渝中區(qū)、平頂山市寶豐縣
信陽市淮濱縣、臨夏臨夏市、云浮市新興縣、重慶市涪陵區(qū)、自貢市榮縣、呂梁市汾陽市、天水市麥積區(qū)
樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市原陽縣、遵義市播州區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、遵義市紅花崗區(qū)、上饒市信州區(qū)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、常德市臨澧縣、雙鴨山市集賢縣、營口市站前區(qū)、汕頭市潮陽區(qū)、上饒市婺源縣、畢節(jié)市金沙縣、成都市錦江區(qū)、紅河綠春縣
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麗水市云和縣、蕪湖市鏡湖區(qū)、眉山市彭山區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、黔南羅甸縣、臨高縣多文鎮(zhèn)
定西市漳縣、寧夏中衛(wèi)市海原縣、涼山喜德縣、南京市六合區(qū)、上海市浦東新區(qū)
黑河市愛輝區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、涼山會東縣、南通市崇川區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、果洛瑪沁縣
益陽市赫山區(qū)、西安市閻良區(qū)、阜陽市潁上縣、?？谑忻捞m區(qū)、泰州市海陵區(qū)、撫順市東洲區(qū)、萬寧市大茂鎮(zhèn)
張家界市慈利縣、曲靖市陸良縣、忻州市河曲縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、重慶市大渡口區(qū)、福州市閩侯縣、營口市站前區(qū)、阿壩藏族羌族自治州紅原縣、三亞市吉陽區(qū)、丹東市東港市
六安市金安區(qū)、廣西防城港市上思縣、長治市上黨區(qū)、沈陽市沈北新區(qū)、宜春市銅鼓縣、通化市通化縣、貴陽市花溪區(qū)
上饒市廣信區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、廣西北海市鐵山港區(qū)、甘南合作市、玉溪市澄江市、定西市漳縣、漳州市東山縣
上饒市鄱陽縣、成都市雙流區(qū)、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、西安市藍(lán)田縣、恩施州咸豐縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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