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酒泉市金塔縣、洛陽(yáng)市西工區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、運(yùn)城市夏縣、南通市如東縣、朔州市朔城區(qū)、廣西柳州市鹿寨縣、廣西防城港市上思縣、遼陽(yáng)市白塔區(qū)
廣西南寧市橫州市、恩施州利川市、駐馬店市正陽(yáng)縣、馬鞍山市當(dāng)涂縣、怒江傈僳族自治州瀘水市、攀枝花市鹽邊縣、煙臺(tái)市棲霞市、涼山西昌市
洛陽(yáng)市欒川縣、南京市雨花臺(tái)區(qū)、東方市東河鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、哈爾濱市阿城區(qū)、襄陽(yáng)市老河口市、咸陽(yáng)市秦都區(qū)
鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市、湖州市長(zhǎng)興縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、鹽城市響水縣、黔東南錦屏縣、成都市成華區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、甘孜新龍縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、盤錦市雙臺(tái)子區(qū)
畢節(jié)市金沙縣、松原市乾安縣、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、江門市開平市、延安市子長(zhǎng)市、駐馬店市遂平縣、煙臺(tái)市萊州市
濰坊市青州市、北京市大興區(qū)、畢節(jié)市織金縣、呂梁市中陽(yáng)縣、哈爾濱市阿城區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、大慶市紅崗區(qū)、涼山會(huì)理市、十堰市丹江口市
廣州市從化區(qū)、湛江市雷州市、黔東南劍河縣、保山市施甸縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、銅仁市石阡縣、臨沂市沂南縣、臨沂市莒南縣、寧波市奉化區(qū)
紅河石屏縣、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、涼山鹽源縣、太原市杏花嶺區(qū)、郴州市嘉禾縣、樂(lè)山市井研縣、長(zhǎng)沙市芙蓉區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、樂(lè)東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、廣西崇左市天等縣、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、臨汾市侯馬市、廣安市武勝縣、通化市輝南縣、焦作市沁陽(yáng)市、重慶市北碚區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)
德宏傣族景頗族自治州隴川縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、清遠(yuǎn)市連州市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
中山市中山港街道、揚(yáng)州市高郵市、許昌市建安區(qū)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)春市
齊齊哈爾市甘南縣、牡丹江市綏芬河市、常德市漢壽縣、河源市紫金縣、菏澤市單縣
南充市儀隴縣、定西市安定區(qū)、上饒市德興市、澄邁縣永發(fā)鎮(zhèn)、湖州市南潯區(qū)、貴陽(yáng)市息烽縣、蘇州市虎丘區(qū)
南通市海安市、黃岡市羅田縣、廣西百色市德?？h、安康市漢陰縣、撫州市崇仁縣、甘南瑪曲縣
本溪市溪湖區(qū)、撫州市廣昌縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、昆明市富民縣、淮南市大通區(qū)、安順市平壩區(qū)、韶關(guān)市仁化縣、北京市昌平區(qū)、文山西疇縣
恩施州巴東縣、朔州市山陰縣、本溪市溪湖區(qū)、贛州市安遠(yuǎn)縣、樂(lè)山市夾江縣、丹東市東港市、三亞市海棠區(qū)、昭通市巧家縣
南京市高淳區(qū)、文山麻栗坡縣、陽(yáng)泉市盂縣、韶關(guān)市仁化縣、溫州市洞頭區(qū)、安康市石泉縣、儋州市雅星鎮(zhèn)
咸寧市赤壁市、聊城市陽(yáng)谷縣、常州市新北區(qū)、岳陽(yáng)市君山區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、延安市吳起縣、遼源市東遼縣、安康市鎮(zhèn)坪縣、北京市西城區(qū)
福州市永泰縣、曲靖市會(huì)澤縣、韶關(guān)市曲江區(qū)、綏化市明水縣、西安市蓮湖區(qū)、聊城市東昌府區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、潮州市潮安區(qū)、大理彌渡縣
贛州市上猶縣、上海市徐匯區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、錦州市太和區(qū)、哈爾濱市平房區(qū)、池州市青陽(yáng)縣、咸陽(yáng)市永壽縣
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深圳市羅湖區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣、安陽(yáng)市殷都區(qū)、伊春市嘉蔭縣
保亭黎族苗族自治縣什玲、五指山市水滿、晉城市澤州縣、大慶市肇州縣、大慶市龍鳳區(qū)、常德市津市市
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白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、上饒市鉛山縣、西安市碑林區(qū)、海西蒙古族茫崖市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗
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揭陽(yáng)市榕城區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、永州市寧遠(yuǎn)縣、滁州市鳳陽(yáng)縣、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、滁州市來(lái)安縣、贛州市崇義縣、九江市共青城市
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鶴壁市山城區(qū)、杭州市濱江區(qū)、鎮(zhèn)江市丹陽(yáng)市、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、郴州市宜章縣、北京市大興區(qū)、本溪市桓仁滿族自治縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
吉林市磐石市、白山市臨江市、鞍山市立山區(qū)、上海市崇明區(qū)、泰州市靖江市、新鄉(xiāng)市封丘縣
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龍巖市連城縣、佛山市順德區(qū)、武漢市洪山區(qū)、吉安市泰和縣、中山市東升鎮(zhèn)、九江市武寧縣、洛陽(yáng)市欒川縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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