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遵義市余慶縣、連云港市連云區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市樂(lè)平市、重慶市北碚區(qū)、瀘州市古藺縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)
紹興市柯橋區(qū)、漢中市佛坪縣、肇慶市封開縣、汕尾市陸豐市、沈陽(yáng)市法庫(kù)縣
肇慶市高要區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、宣城市郎溪縣、日照市嵐山區(qū)、宿遷市泗洪縣、銅陵市義安區(qū)、宜昌市五峰土家族自治縣、佛山市三水區(qū)、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、廣西桂林市雁山區(qū)
中山市東升鎮(zhèn)、池州市貴池區(qū)、菏澤市鄆城縣、岳陽(yáng)市臨湘市、滁州市全椒縣
阜陽(yáng)市潁州區(qū)、成都市金牛區(qū)、白銀市靖遠(yuǎn)縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、北京市東城區(qū)
漳州市漳浦縣、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、煙臺(tái)市龍口市、忻州市偏關(guān)縣、武漢市硚口區(qū)、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、黑河市遜克縣
常德市漢壽縣、濟(jì)寧市微山縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、東方市感城鎮(zhèn)、商丘市夏邑縣、東營(yíng)市河口區(qū)
鐵嶺市清河區(qū)、宜春市上高縣、聊城市陽(yáng)谷縣、果洛班瑪縣、鞍山市鐵東區(qū)
黑河市嫩江市、銅仁市石阡縣、內(nèi)江市東興區(qū)、哈爾濱市平房區(qū)、黔南貴定縣、自貢市沿灘區(qū)、廣西欽州市浦北縣
漳州市龍文區(qū)、宜昌市夷陵區(qū)、呂梁市石樓縣、泉州市惠安縣、攀枝花市鹽邊縣、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、永州市新田縣、黔西南興仁市、南充市高坪區(qū)、平頂山市新華區(qū)、許昌市建安區(qū)
重慶市永川區(qū)、德陽(yáng)市廣漢市、綿陽(yáng)市平武縣、廣西賀州市鐘山縣、龍巖市新羅區(qū)、鹽城市響水縣、眉山市仁壽縣、信陽(yáng)市羅山縣
新余市渝水區(qū)、伊春市豐林縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗、周口市淮陽(yáng)區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、呂梁市汾陽(yáng)市
中山市沙溪鎮(zhèn)、朔州市懷仁市、常州市新北區(qū)、濟(jì)寧市兗州區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)
襄陽(yáng)市谷城縣、岳陽(yáng)市汨羅市、中山市三角鎮(zhèn)、溫州市泰順縣、淮北市杜集區(qū)、德陽(yáng)市中江縣、運(yùn)城市稷山縣、淮安市淮陰區(qū)、達(dá)州市通川區(qū)、三明市大田縣
西寧市城中區(qū)、廣西崇左市憑祥市、安陽(yáng)市安陽(yáng)縣、商丘市睢縣、錦州市義縣、福州市閩清縣、成都市彭州市、溫州市永嘉縣、東莞市厚街鎮(zhèn)
臨汾市大寧縣、定西市通渭縣、甘孜道孚縣、綏化市慶安縣、張家界市桑植縣、北京市平谷區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、雞西市恒山區(qū)、吉安市青原區(qū)
衡陽(yáng)市南岳區(qū)、北京市東城區(qū)、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、臨沂市莒南縣、鶴崗市東山區(qū)、東莞市南城街道、長(zhǎng)治市平順縣、自貢市沿灘區(qū)
果洛瑪沁縣、黔東南施秉縣、濟(jì)南市章丘區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、廣西崇左市寧明縣、泰安市東平縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、廣西百色市平果市
大理鶴慶縣、黑河市五大連池市、安康市白河縣、內(nèi)江市東興區(qū)、四平市鐵西區(qū)、重慶市墊江縣、淄博市沂源縣
楚雄祿豐市、東營(yíng)市利津縣、呂梁市方山縣、廣西南寧市馬山縣、楚雄大姚縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、荊門市掇刀區(qū)、威海市乳山市、濟(jì)南市歷下區(qū)
汕頭市濠江區(qū)、五指山市毛道、蚌埠市龍子湖區(qū)、葫蘆島市建昌縣、贛州市會(huì)昌縣、永州市藍(lán)山縣、黔西南安龍縣、常州市金壇區(qū)、東莞市企石鎮(zhèn)
南京市浦口區(qū)、曲靖市宣威市、咸陽(yáng)市永壽縣、荊門市掇刀區(qū)、宣城市績(jī)溪縣、廣西百色市田林縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、綿陽(yáng)市三臺(tái)縣、邵陽(yáng)市邵東市、上饒市萬(wàn)年縣
萍鄉(xiāng)市上栗縣、資陽(yáng)市雁江區(qū)、孝感市大悟縣、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)、安康市漢濱區(qū)、常德市漢壽縣
開封市通許縣、駐馬店市確山縣、三明市將樂(lè)縣、珠海市香洲區(qū)、海南興?？h、南京市玄武區(qū)、廣州市天河區(qū)、咸陽(yáng)市永壽縣、四平市公主嶺市
新余市分宜縣、雅安市石棉縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、聊城市高唐縣、漢中市洋縣、咸陽(yáng)市旬邑縣、上海市奉賢區(qū)、汕頭市潮南區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、延安市安塞區(qū)
黔西南興仁市、黃石市鐵山區(qū)、廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、哈爾濱市南崗區(qū)、麗水市云和縣、南平市浦城縣、張家界市武陵源區(qū)、溫州市泰順縣、眉山市彭山區(qū)
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南陽(yáng)市臥龍區(qū)、德陽(yáng)市什邡市、廣西崇左市憑祥市、瀘州市龍馬潭區(qū)、銅川市王益區(qū)、廣州市黃埔區(qū)、撫州市金溪縣
郴州市北湖區(qū)、呂梁市石樓縣、齊齊哈爾市拜泉縣、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣、延安市延長(zhǎng)縣、天津市寶坻區(qū)、溫州市洞頭區(qū)、淮安市淮安區(qū)
吉安市安福縣、商洛市洛南縣、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、臨夏臨夏市、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、邵陽(yáng)市洞口縣
昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、婁底市雙峰縣、銅川市宜君縣、本溪市溪湖區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、濟(jì)寧市任城區(qū)、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣、營(yíng)口市老邊區(qū)、甘孜康定市
泉州市鯉城區(qū)、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、南平市建甌市、南京市鼓樓區(qū)、湛江市遂溪縣、遼源市東遼縣、涼山昭覺(jué)縣、廣州市越秀區(qū)
上海市青浦區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、平頂山市郟縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、銅陵市銅官區(qū)、丹東市元寶區(qū)、牡丹江市東安區(qū)
安陽(yáng)市滑縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、泰安市泰山區(qū)、伊春市金林區(qū)、延安市子長(zhǎng)市、威海市環(huán)翠區(qū)、涼山甘洛縣、延邊和龍市、呂梁市中陽(yáng)縣、廣西貴港市桂平市
遼源市西安區(qū)、廣西桂林市興安縣、曲靖市沾益區(qū)、泉州市南安市、寧夏銀川市靈武市
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定西市漳縣、六盤水市六枝特區(qū)、河源市和平縣、洛陽(yáng)市欒川縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、紹興市新昌縣、玉溪市澄江市、四平市公主嶺市
信陽(yáng)市光山縣、宜賓市高縣、中山市三角鎮(zhèn)、東莞市東坑鎮(zhèn)、撫州市樂(lè)安縣、臨汾市安澤縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、哈爾濱市五常市、連云港市東?？h、營(yíng)口市老邊區(qū)
梅州市蕉嶺縣、白山市渾江區(qū)、上海市虹口區(qū)、棗莊市嶧城區(qū)、眉山市青神縣、直轄縣潛江市
本溪市本溪滿族自治縣、濰坊市奎文區(qū)、南京市浦口區(qū)、咸陽(yáng)市淳化縣、三沙市西沙區(qū)、廣西桂林市陽(yáng)朔縣
廣西南寧市江南區(qū)、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、迪慶維西傈僳族自治縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)、新余市渝水區(qū)、商丘市梁園區(qū)、昆明市五華區(qū)、郴州市資興市、金華市蘭溪市、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)
上饒市婺源縣、運(yùn)城市河津市、九江市瑞昌市、昆明市安寧市、湛江市霞山區(qū)
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中山市南頭鎮(zhèn)、常州市天寧區(qū)、郴州市北湖區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、東莞市大朗鎮(zhèn)、呂梁市離石區(qū)
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臨汾市古縣、運(yùn)城市萬(wàn)榮縣、衡陽(yáng)市衡南縣、鹽城市響水縣、臨沂市平邑縣、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、酒泉市瓜州縣、淄博市淄川區(qū)、寶雞市麟游縣
阿壩藏族羌族自治州理縣、白沙黎族自治縣青松鄉(xiāng)、宜賓市筠連縣、曲靖市師宗縣、廣西南寧市興寧區(qū)、綏化市北林區(qū)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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