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黃岡市英山縣、馬鞍山市和縣、白城市通榆縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、杭州市江干區(qū)、洛陽市老城區(qū)、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、上饒市弋陽縣
阿壩藏族羌族自治州小金縣、撫州市臨川區(qū)、臨沂市蘭山區(qū)、鹽城市東臺(tái)市、南京市秦淮區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、南平市邵武市
廣西防城港市上思縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、銅川市宜君縣、衡陽市衡陽縣、撫順市撫順縣、黑河市愛輝區(qū)、漳州市云霄縣、青島市城陽區(qū)
咸寧市通城縣、中山市坦洲鎮(zhèn)、福州市鼓樓區(qū)、安慶市懷寧縣、黔東南劍河縣、長春市寬城區(qū)、吉安市新干縣
梅州市興寧市、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)、寧夏銀川市靈武市、東營市利津縣、宜昌市五峰土家族自治縣、銅仁市碧江區(qū)、沈陽市大東區(qū)、佳木斯市樺南縣、東莞市南城街道、上海市徐匯區(qū)
齊齊哈爾市泰來縣、梅州市梅江區(qū)、長治市襄垣縣、定安縣龍門鎮(zhèn)、東莞市大嶺山鎮(zhèn)
杭州市臨安區(qū)、中山市黃圃鎮(zhèn)、泉州市惠安縣、株洲市茶陵縣、馬鞍山市含山縣
重慶市墊江縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、貴陽市開陽縣、舟山市定海區(qū)、黔南三都水族自治縣、泉州市惠安縣、邵陽市隆回縣、邵陽市北塔區(qū)
宣城市績溪縣、溫州市文成縣、廣西來賓市金秀瑤族自治縣、邵陽市雙清區(qū)、天津市河西區(qū)、鶴壁市鶴山區(qū)、東營市東營區(qū)、濟(jì)南市章丘區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、安康市平利縣
沈陽市大東區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、重慶市永川區(qū)、楚雄雙柏縣、晉中市介休市
黃石市陽新縣、開封市順河回族區(qū)、海西蒙古族天峻縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、宜春市豐城市、重慶市銅梁區(qū)
溫州市龍灣區(qū)、平頂山市魯山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、濟(jì)寧市曲阜市、周口市淮陽區(qū)、岳陽市平江縣、東莞市橫瀝鎮(zhèn)
商丘市虞城縣、佳木斯市湯原縣、齊齊哈爾市克山縣、廣安市武勝縣、岳陽市岳陽縣
焦作市修武縣、渭南市合陽縣、呂梁市臨縣、泉州市豐澤區(qū)、濰坊市寒亭區(qū)、贛州市會(huì)昌縣、佛山市高明區(qū)、西寧市城中區(qū)、綏化市北林區(qū)、遼源市東遼縣
玉溪市峨山彝族自治縣、沈陽市渾南區(qū)、上海市崇明區(qū)、長春市朝陽區(qū)、商洛市商南縣
黔東南岑鞏縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、焦作市孟州市、臨夏臨夏縣、天水市秦安縣
信陽市光山縣、衢州市江山市、昭通市大關(guān)縣、安順市平壩區(qū)、雙鴨山市寶清縣、吉安市井岡山市、金華市東陽市、周口市西華縣、河源市東源縣、南充市營山縣
黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、瀘州市瀘縣、鄂州市梁子湖區(qū)、上海市楊浦區(qū)、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、江門市鶴山市、廣西百色市靖西市
泰州市海陵區(qū)、南京市建鄴區(qū)、曲靖市沾益區(qū)、寧德市柘榮縣、廣西南寧市馬山縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
三門峽市盧氏縣、忻州市靜樂縣、十堰市茅箭區(qū)、甘孜新龍縣、通化市東昌區(qū)、惠州市惠陽區(qū)、甘孜理塘縣
郴州市北湖區(qū)、贛州市瑞金市、太原市古交市、雞西市雞冠區(qū)、滁州市南譙區(qū)、淮南市八公山區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、涼山布拖縣、文昌市東路鎮(zhèn)、梅州市平遠(yuǎn)縣
哈爾濱市松北區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、哈爾濱市道里區(qū)、巴中市南江縣、佛山市三水區(qū)、廣西百色市那坡縣、龍巖市上杭縣、榆林市綏德縣、紅河建水縣、恩施州鶴峰縣
漢中市南鄭區(qū)、普洱市思茅區(qū)、邵陽市洞口縣、廣西南寧市賓陽縣、宜昌市枝江市
沈陽市沈河區(qū)、寧夏吳忠市同心縣、綏化市青岡縣、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、黔南三都水族自治縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣、廣西河池市南丹縣、文昌市昌灑鎮(zhèn)、普洱市瀾滄拉祜族自治縣
漳州市長泰區(qū)、武漢市漢南區(qū)、長春市農(nóng)安縣、臨汾市汾西縣、廣州市天河區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、十堰市房縣、杭州市富陽區(qū)
漢中市佛坪縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、海東市化隆回族自治縣、沈陽市渾南區(qū)、甘孜道孚縣、澄邁縣金江鎮(zhèn)、內(nèi)江市市中區(qū)、涼山木里藏族自治縣、海南興?？h、武威市涼州區(qū)
煙臺(tái)市福山區(qū)、黑河市愛輝區(qū)、寧德市蕉城區(qū)、泰安市泰山區(qū)、嘉興市海鹽縣、重慶市奉節(jié)縣、遼陽市宏偉區(qū)、陽江市陽西縣、亳州市利辛縣、大同市云州區(qū)
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洛陽市孟津區(qū)、黔東南從江縣、中山市石岐街道、蘭州市皋蘭縣、清遠(yuǎn)市連州市、揚(yáng)州市邗江區(qū)、洛陽市欒川縣、贛州市章貢區(qū)
長沙市長沙縣、三明市沙縣區(qū)、綿陽市安州區(qū)、重慶市石柱土家族自治縣、昭通市巧家縣、衢州市龍游縣、合肥市廬陽區(qū)、鄭州市二七區(qū)
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廣西防城港市防城區(qū)、杭州市下城區(qū)、廣州市南沙區(qū)、儋州市海頭鎮(zhèn)、咸陽市旬邑縣
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齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、廣安市鄰水縣、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、張掖市甘州區(qū)、儋州市雅星鎮(zhèn)、東莞市高埗鎮(zhèn)、蘭州市七里河區(qū)、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、福州市鼓樓區(qū)、漯河市舞陽縣
衢州市江山市、煙臺(tái)市萊山區(qū)、吉林市永吉縣、漢中市佛坪縣、貴陽市云巖區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、周口市淮陽區(qū)、紅河石屏縣、廣西河池市東蘭縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、文昌市馮坡鎮(zhèn)、九江市共青城市、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、商丘市夏邑縣、南充市閬中市、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)
東莞市樟木頭鎮(zhèn)、文山硯山縣、德陽市廣漢市、樂山市夾江縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、朝陽市朝陽縣、內(nèi)江市隆昌市、龍巖市上杭縣
漳州市漳浦縣、樂東黎族自治縣鶯歌海鎮(zhèn)、佳木斯市湯原縣、延安市延川縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市
肇慶市端州區(qū)、玉溪市易門縣、楚雄大姚縣、韶關(guān)市湞江區(qū)、隨州市曾都區(qū)、松原市寧江區(qū)、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、哈爾濱市道里區(qū)、駐馬店市正陽縣、淮北市相山區(qū)
宜昌市猇亭區(qū)、太原市古交市、呂梁市柳林縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、葫蘆島市龍港區(qū)、涼山昭覺縣、怒江傈僳族自治州福貢縣
咸寧市崇陽縣、長治市潞城區(qū)、長沙市天心區(qū)、泉州市泉港區(qū)、延邊琿春市、溫州市泰順縣、雞西市雞東縣
寧夏吳忠市青銅峽市、衡陽市衡南縣、麗江市玉龍納西族自治縣、儋州市和慶鎮(zhèn)、衢州市柯城區(qū)、運(yùn)城市夏縣、贛州市會(huì)昌縣
中山市南朗鎮(zhèn)、大理劍川縣、上海市徐匯區(qū)、常德市臨澧縣、郴州市安仁縣、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、安慶市大觀區(qū)
贛州市瑞金市、澄邁縣老城鎮(zhèn)、揭陽市榕城區(qū)、周口市川匯區(qū)、文昌市東路鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟(jì)納旗、梅州市梅縣區(qū)、黔西南興義市、上饒市婺源縣
梅州市梅江區(qū)、廣西桂林市灌陽縣、朝陽市建平縣、萬寧市大茂鎮(zhèn)、徐州市沛縣、廣西百色市右江區(qū)
郴州市宜章縣、黑河市五大連池市、阿壩藏族羌族自治州小金縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣、南昌市東湖區(qū)、延邊汪清縣
衡陽市祁東縣、咸寧市崇陽縣、郴州市安仁縣、濟(jì)寧市曲阜市、宜昌市夷陵區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、贛州市上猶縣、漢中市勉縣、黔東南從江縣
榆林市子洲縣、洛陽市西工區(qū)、普洱市墨江哈尼族自治縣、廣西桂林市臨桂區(qū)、葫蘆島市建昌縣、濰坊市壽光市、延安市寶塔區(qū)、重慶市大足區(qū)、駐馬店市確山縣、鶴崗市綏濱縣
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韶關(guān)市始興縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、長治市平順縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、永州市江永縣、黔東南錦屏縣、甘南迭部縣、吉安市青原區(qū)、延安市寶塔區(qū)、運(yùn)城市新絳縣
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陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、廣西桂林市疊彩區(qū)、陽泉市礦區(qū)、南京市秦淮區(qū)、焦作市孟州市、臨沂市沂南縣、茂名市信宜市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、萬寧市北大鎮(zhèn)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機(jī)等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲H局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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