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內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、贛州市龍南市、天津市濱海新區(qū)、三門峽市湖濱區(qū)、信陽(yáng)市商城縣、三亞市崖州區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市
福州市永泰縣、曲靖市會(huì)澤縣、韶關(guān)市曲江區(qū)、綏化市明水縣、西安市蓮湖區(qū)、聊城市東昌府區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、潮州市潮安區(qū)、大理彌渡縣
天津市紅橋區(qū)、許昌市魏都區(qū)、莆田市涵江區(qū)、天津市河?xùn)|區(qū)、儋州市新州鎮(zhèn)、濟(jì)南市商河縣、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、德宏傣族景頗族自治州芒市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市
湖州市吳興區(qū)、開(kāi)封市祥符區(qū)、咸寧市崇陽(yáng)縣、馬鞍山市含山縣、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、臺(tái)州市三門縣、焦作市孟州市、東方市感城鎮(zhèn)、廣元市劍閣縣、安慶市宜秀區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、玉樹(shù)曲麻萊縣、合肥市包河區(qū)、黔南惠水縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、佛山市三水區(qū)、滁州市來(lái)安縣、朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、麗水市遂昌縣
齊齊哈爾市克東縣、成都市成華區(qū)、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、上海市松江區(qū)、遼陽(yáng)市文圣區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣
畢節(jié)市金沙縣、深圳市坪山區(qū)、安康市白河縣、莆田市仙游縣、常州市新北區(qū)、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)、懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣
呂梁市興縣、青島市平度市、中山市南朗鎮(zhèn)、洛陽(yáng)市瀍河回族區(qū)、岳陽(yáng)市平江縣、宜昌市秭歸縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、大理巍山彝族回族自治縣
商洛市山陽(yáng)縣、淮安市清江浦區(qū)、貴陽(yáng)市修文縣、甘孜新龍縣、廣西桂林市荔浦市、贛州市信豐縣、白城市鎮(zhèn)賚縣、樂(lè)山市五通橋區(qū)、衢州市開(kāi)化縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)
宜春市高安市、湘潭市岳塘區(qū)、隨州市曾都區(qū)、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市蓮花縣、中山市橫欄鎮(zhèn)、隴南市徽縣
邵陽(yáng)市大祥區(qū)、大連市瓦房店市、南陽(yáng)市唐河縣、巴中市南江縣、株洲市茶陵縣、六安市金寨縣、達(dá)州市通川區(qū)、黔東南麻江縣、襄陽(yáng)市襄城區(qū)
甘孜白玉縣、大理鶴慶縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、宜昌市秭歸縣、齊齊哈爾市拜泉縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、成都市雙流區(qū)、泉州市南安市
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、東莞市萬(wàn)江街道、邵陽(yáng)市新寧縣、儋州市白馬井鎮(zhèn)、蕪湖市鏡湖區(qū)
珠海市斗門區(qū)、畢節(jié)市織金縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、畢節(jié)市黔西市、廈門市湖里區(qū)、東莞市企石鎮(zhèn)、溫州市文成縣、惠州市龍門縣
海南貴德縣、宿遷市泗洪縣、北京市房山區(qū)、韶關(guān)市曲江區(qū)、懷化市新晃侗族自治縣、揚(yáng)州市儀征市
池州市石臺(tái)縣、聊城市東昌府區(qū)、遵義市習(xí)水縣、阜陽(yáng)市潁上縣、贛州市興國(guó)縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣
安陽(yáng)市林州市、五指山市毛道、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、?？谑忻捞m區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)
伊春市南岔縣、中山市阜沙鎮(zhèn)、遵義市鳳岡縣、海南貴南縣、池州市東至縣
儋州市和慶鎮(zhèn)、青島市市北區(qū)、麗水市慶元縣、廣西北海市海城區(qū)、臨沂市費(fèi)縣、無(wú)錫市濱湖區(qū)
呂梁市離石區(qū)、紅河彌勒市、廣州市越秀區(qū)、紅河河口瑤族自治縣、牡丹江市林口縣、湛江市坡頭區(qū)
開(kāi)封市蘭考縣、北京市大興區(qū)、海東市民和回族土族自治縣、臨汾市蒲縣、衢州市常山縣、北京市延慶區(qū)、張掖市肅南裕固族自治縣
汕頭市澄海區(qū)、贛州市瑞金市、西安市碑林區(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、西安市藍(lán)田縣、廣西百色市右江區(qū)
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長(zhǎng)治市襄垣縣、贛州市定南縣、晉中市榆社縣、萬(wàn)寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、佛山市高明區(qū)、金華市永康市、上海市徐匯區(qū)
東方市江邊鄉(xiāng)、大理彌渡縣、濰坊市高密市、廣西南寧市橫州市、哈爾濱市雙城區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)、延邊龍井市、保山市昌寧縣
廣西百色市田林縣、張家界市武陵源區(qū)、韶關(guān)市翁源縣、貴陽(yáng)市白云區(qū)、迪慶維西傈僳族自治縣、廣西梧州市龍圩區(qū)、儋州市大成鎮(zhèn)、白銀市靖遠(yuǎn)縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、臨汾市永和縣
屯昌縣西昌鎮(zhèn)、蘇州市吳中區(qū)、金華市義烏市、黔西南興義市、麗江市華坪縣
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商洛市丹鳳縣、果洛甘德縣、萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、菏澤市牡丹區(qū)、信陽(yáng)市光山縣
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伊春市嘉蔭縣、葫蘆島市綏中縣、酒泉市金塔縣、聊城市冠縣、廣西貴港市覃塘區(qū)、臺(tái)州市黃巖區(qū)、孝感市孝南區(qū)、安陽(yáng)市龍安區(qū)、資陽(yáng)市安岳縣
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運(yùn)城市新絳縣、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、晉中市左權(quán)縣、廣西崇左市大新縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、鞍山市海城市、臨夏臨夏市、常州市新北區(qū)
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丹東市寬甸滿族自治縣、衢州市龍游縣、迪慶德欽縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、內(nèi)江市隆昌市、商丘市永城市、東營(yíng)市利津縣、海南貴德縣、宣城市宣州區(qū)、安慶市懷寧縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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