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武漢市江夏區(qū)、贛州市信豐縣、廈門市海滄區(qū)、淮北市杜集區(qū)、深圳市龍崗區(qū)
撫州市樂(lè)安縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣、泉州市晉江市、廣西梧州市藤縣、莆田市仙游縣
怒江傈僳族自治州瀘水市、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、十堰市茅箭區(qū)、焦作市武陟縣、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、云浮市羅定市、蚌埠市禹會(huì)區(qū)
三門峽市靈寶市、延邊圖們市、晉城市陵川縣、郴州市臨武縣、臨汾市汾西縣
萬(wàn)寧市南橋鎮(zhèn)、西寧市大通回族土族自治縣、黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、遵義市桐梓縣、玉溪市峨山彝族自治縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、麗江市古城區(qū)、平?jīng)鍪徐o寧縣
蘭州市七里河區(qū)、天水市甘谷縣、大連市中山區(qū)、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、安陽(yáng)市殷都區(qū)、六安市霍邱縣、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市、鄂州市華容區(qū)、婁底市雙峰縣
泰安市泰山區(qū)、東方市江邊鄉(xiāng)、益陽(yáng)市赫山區(qū)、株洲市攸縣、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、蚌埠市淮上區(qū)、永州市藍(lán)山縣、福州市晉安區(qū)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、資陽(yáng)市樂(lè)至縣、九江市德安縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、漳州市龍海區(qū)、深圳市福田區(qū)、衢州市衢江區(qū)
泰州市姜堰區(qū)、周口市西華縣、甘孜丹巴縣、長(zhǎng)治市沁源縣、懷化市溆浦縣
延安市宜川縣、郴州市桂陽(yáng)縣、漳州市龍海區(qū)、遵義市仁懷市、常德市澧縣、宜春市萬(wàn)載縣、南昌市灣里區(qū)
晉中市昔陽(yáng)縣、自貢市榮縣、中山市小欖鎮(zhèn)、忻州市代縣、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、河源市源城區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)
內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、益陽(yáng)市赫山區(qū)、泉州市鯉城區(qū)、鐵嶺市鐵嶺縣、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)
滁州市鳳陽(yáng)縣、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、中山市東升鎮(zhèn)、鄭州市中牟縣、平?jīng)鍪袥艽h、張家界市武陵源區(qū)、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、怒江傈僳族自治州瀘水市、廣西梧州市藤縣
瓊海市嘉積鎮(zhèn)、九江市德安縣、宜賓市翠屏區(qū)、駐馬店市汝南縣、淄博市臨淄區(qū)、北京市東城區(qū)、天津市薊州區(qū)、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、廣西柳州市柳北區(qū)
吉林市磐石市、大理劍川縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、錦州市太和區(qū)、文山丘北縣
寧波市北侖區(qū)、儋州市王五鎮(zhèn)、重慶市武隆區(qū)、新鄉(xiāng)市封丘縣、岳陽(yáng)市汨羅市、西雙版納勐?？h
哈爾濱市松北區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、滁州市天長(zhǎng)市、貴陽(yáng)市清鎮(zhèn)市、南平市松溪縣、咸陽(yáng)市旬邑縣、甘孜白玉縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、運(yùn)城市新絳縣
牡丹江市穆棱市、常德市鼎城區(qū)、定西市臨洮縣、松原市扶余市、鹽城市響水縣、儋州市排浦鎮(zhèn)、黔南羅甸縣、大慶市讓胡路區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣、廣西賀州市鐘山縣
西安市臨潼區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、廣安市華鎣市、朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、寶雞市眉縣
安慶市桐城市、廣州市從化區(qū)、襄陽(yáng)市老河口市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、莆田市城廂區(qū)、中山市南區(qū)街道
澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、鐵嶺市清河區(qū)、成都市郫都區(qū)、廣西桂林市靈川縣、成都市青白江區(qū)、曲靖市富源縣
內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、洛陽(yáng)市伊川縣、哈爾濱市南崗區(qū)、德州市武城縣、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、臨沂市平邑縣、濟(jì)寧市梁山縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市
六盤水市水城區(qū)、黔南惠水縣、臨沂市平邑縣、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、長(zhǎng)春市德惠市、南充市順慶區(qū)、巴中市南江縣
紹興市諸暨市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、宜昌市夷陵區(qū)、伊春市豐林縣、嘉興市秀洲區(qū)、上饒市廣豐區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、南京市江寧區(qū)、淮安市淮安區(qū)
黑河市遜克縣、臨夏康樂(lè)縣、廣西玉林市陸川縣、吉林市豐滿區(qū)、洛陽(yáng)市新安縣、信陽(yáng)市淮濱縣、曲靖市沾益區(qū)、廣西河池市東蘭縣
中山市中山港街道、鶴崗市蘿北縣、廣西柳州市融水苗族自治縣、大理南澗彝族自治縣、遂寧市射洪市
濟(jì)寧市嘉祥縣、廣西柳州市柳城縣、忻州市代縣、儋州市白馬井鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市雙清區(qū)、衢州市常山縣、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、果洛瑪多縣、牡丹江市綏芬河市、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)
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鶴壁市淇縣、洛陽(yáng)市老城區(qū)、阜新市細(xì)河區(qū)、宜春市靖安縣、宜賓市筠連縣、清遠(yuǎn)市連山壯族瑤族自治縣、廣西北海市銀海區(qū)、紅河建水縣、麗水市遂昌縣
中山市東升鎮(zhèn)、哈爾濱市通河縣、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、廣州市海珠區(qū)、常德市石門縣、惠州市龍門縣、衡陽(yáng)市祁東縣、湘潭市岳塘區(qū)
西寧市城北區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、舟山市定海區(qū)、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣、福州市福清市、孝感市漢川市、齊齊哈爾市克東縣
廣西來(lái)賓市金秀瑤族自治縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、黔東南三穗縣、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗、杭州市富陽(yáng)區(qū)、遂寧市蓬溪縣、咸陽(yáng)市禮泉縣、蘇州市張家港市、深圳市羅湖區(qū)
臨高縣南寶鎮(zhèn)、湖州市南潯區(qū)、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)、南陽(yáng)市社旗縣、昆明市嵩明縣
鶴崗市向陽(yáng)區(qū)、洛陽(yáng)市嵩縣、吉林市昌邑區(qū)、延安市志丹縣、上饒市余干縣、海南共和縣、文山富寧縣、西安市周至縣、忻州市保德縣、晉中市昔陽(yáng)縣
西安市長(zhǎng)安區(qū)、遼陽(yáng)市燈塔市、無(wú)錫市新吳區(qū)、陽(yáng)泉市城區(qū)、濟(jì)寧市梁山縣、威海市乳山市
信陽(yáng)市潢川縣、吉安市吉州區(qū)、臺(tái)州市仙居縣、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、濱州市鄒平市、蘭州市安寧區(qū)、文山硯山縣、達(dá)州市大竹縣、揚(yáng)州市邗江區(qū)
深圳市龍華區(qū)、廣西桂林市雁山區(qū)、太原市古交市、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、吉安市吉州區(qū)、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、九江市共青城市
廣西百色市凌云縣、楚雄武定縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、廣西玉林市博白縣、甘孜爐霍縣、商洛市柞水縣、衡陽(yáng)市祁東縣
上海市閔行區(qū)、重慶市奉節(jié)縣、陽(yáng)江市江城區(qū)、廣西梧州市龍圩區(qū)、貴陽(yáng)市息烽縣、沈陽(yáng)市沈河區(qū)、重慶市忠縣、慶陽(yáng)市合水縣
南充市儀隴縣、淮安市金湖縣、雞西市恒山區(qū)、荊門市掇刀區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、本溪市南芬區(qū)、本溪市明山區(qū)
洛陽(yáng)市西工區(qū)、白銀市景泰縣、六安市舒城縣、南平市邵武市、廣西河池市南丹縣、恩施州宣恩縣、廣西柳州市柳北區(qū)、大同市天鎮(zhèn)縣、駐馬店市正陽(yáng)縣、廣州市南沙區(qū)
宜賓市長(zhǎng)寧縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、寶雞市金臺(tái)區(qū)、梅州市興寧市、淮南市田家庵區(qū)
臺(tái)州市溫嶺市、臨沂市蘭山區(qū)、三明市大田縣、涼山美姑縣、德州市齊河縣、果洛瑪沁縣、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、上海市楊浦區(qū)
廣安市鄰水縣、玉樹(shù)稱多縣、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市、臨沂市沂水縣、涼山越西縣、吉安市萬(wàn)安縣、揭陽(yáng)市揭西縣、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、深圳市龍崗區(qū)
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漳州市華安縣、宜昌市枝江市、泉州市泉港區(qū)、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、廣西桂林市荔浦市、梅州市梅江區(qū)
甘孜九龍縣、衢州市衢江區(qū)、臨汾市古縣、九江市瑞昌市、株洲市茶陵縣、安康市漢濱區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、寧夏銀川市永寧縣、銅陵市銅官區(qū)
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東莞市鳳崗鎮(zhèn)、張掖市民樂(lè)縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、儋州市南豐鎮(zhèn)、上海市寶山區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、茂名市信宜市、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、日照市五蓮縣、淮南市八公山區(qū)
黔南甕安縣、延邊安圖縣、邵陽(yáng)市洞口縣、焦作市博愛(ài)縣、昆明市石林彝族自治縣、大連市長(zhǎng)?？h
湛江市坡頭區(qū)、鷹潭市月湖區(qū)、寧德市周寧縣、東莞市大朗鎮(zhèn)、涼山普格縣、平頂山市郟縣、湛江市遂溪縣、邵陽(yáng)市大祥區(qū)、莆田市仙游縣、昆明市祿勸彝族苗族自治縣
沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、呂梁市柳林縣、重慶市南岸區(qū)、南陽(yáng)市唐河縣、遂寧市蓬溪縣、昆明市西山區(qū)、贛州市興國(guó)縣、濱州市博興縣、平頂山市魯山縣、黔東南凱里市
聊城市茌平區(qū)、濰坊市昌樂(lè)縣、定西市岷縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、濟(jì)南市市中區(qū)
黑河市孫吳縣、連云港市海州區(qū)、黃南同仁市、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、昆明市五華區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、成都市成華區(qū)、淮安市漣水縣
怒江傈僳族自治州福貢縣、自貢市自流井區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、新鄉(xiāng)市紅旗區(qū)、大同市左云縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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