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忻州市保德縣、上饒市玉山縣、安慶市宿松縣、福州市羅源縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)、大慶市大同區(qū)、江門市新會(huì)區(qū)
聊城市莘縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、廣西柳州市柳北區(qū)、湛江市霞山區(qū)、晉中市太谷區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)
玉溪市江川區(qū)、婁底市婁星區(qū)、宜賓市珙縣、昭通市魯?shù)榭h、中山市黃圃鎮(zhèn)、文昌市馮坡鎮(zhèn)、南昌市灣里區(qū)、阿壩藏族羌族自治州理縣、十堰市鄖西縣
遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、涼山昭覺縣、晉中市平遙縣、廣元市朝天區(qū)、淮安市清江浦區(qū)、黔西南安龍縣、松原市扶余市
十堰市鄖西縣、黃山市歙縣、六安市霍邱縣、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、中山市三角鎮(zhèn)、自貢市沿灘區(qū)
聊城市東阿縣、松原市長(zhǎng)嶺縣、沈陽(yáng)市新民市、雅安市寶興縣、十堰市鄖西縣、德陽(yáng)市綿竹市、廣西桂林市象山區(qū)
恩施州鶴峰縣、萬(wàn)寧市和樂鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、綏化市綏棱縣、儋州市新州鎮(zhèn)、張掖市高臺(tái)縣、自貢市自流井區(qū)、天津市紅橋區(qū)、佳木斯市富錦市、泰州市海陵區(qū)
直轄縣潛江市、永州市寧遠(yuǎn)縣、白銀市會(huì)寧縣、聊城市高唐縣、廣西梧州市岑溪市
廣西桂林市資源縣、白銀市平川區(qū)、臨汾市蒲縣、保亭黎族苗族自治縣什玲、遼陽(yáng)市弓長(zhǎng)嶺區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、長(zhǎng)春市寬城區(qū)
蕪湖市鏡湖區(qū)、寧德市壽寧縣、溫州市洞頭區(qū)、合肥市廬江縣、達(dá)州市開江縣、煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、麗水市景寧畬族自治縣、隨州市隨縣、湖州市德清縣
湘潭市韶山市、寶雞市鳳縣、邵陽(yáng)市北塔區(qū)、文山廣南縣、麗江市玉龍納西族自治縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、文山文山市、無(wú)錫市濱湖區(qū)、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、南陽(yáng)市方城縣
甘孜康定市、雙鴨山市尖山區(qū)、濟(jì)寧市微山縣、海南貴南縣、贛州市上猶縣
南通市如皋市、儋州市中和鎮(zhèn)、文昌市東郊鎮(zhèn)、廣西南寧市邕寧區(qū)、哈爾濱市依蘭縣、渭南市白水縣、淮安市盱眙縣
臨汾市隰縣、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、恩施州咸豐縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、鹽城市阜寧縣、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、福州市福清市
青島市嶗山區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)、儋州市和慶鎮(zhèn)、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、衢州市柯城區(qū)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、廣西南寧市青秀區(qū)、黔東南錦屏縣、寶雞市太白縣
重慶市南岸區(qū)、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、四平市鐵西區(qū)、樂山市馬邊彝族自治縣、威海市乳山市、平頂山市魯山縣、瓊海市潭門鎮(zhèn)、九江市彭澤縣、聊城市東昌府區(qū)
宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、宜昌市宜都市、麗水市青田縣、廣西來(lái)賓市武宣縣、汕尾市陸河縣、玉樹囊謙縣、咸陽(yáng)市渭城區(qū)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)
西寧市城中區(qū)、泰安市肥城市、阿壩藏族羌族自治州小金縣、大理云龍縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、福州市倉(cāng)山區(qū)、汕尾市城區(qū)、恩施州咸豐縣
西寧市湟源縣、中山市南區(qū)街道、寧夏固原市彭陽(yáng)縣、駐馬店市泌陽(yáng)縣、武漢市漢南區(qū)、延邊琿春市、吉林市永吉縣、衢州市開化縣、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣、衡陽(yáng)市雁峰區(qū)
黔西南貞豐縣、德陽(yáng)市廣漢市、蚌埠市五河縣、廈門市湖里區(qū)、溫州市泰順縣、西安市鄠邑區(qū)
寧夏固原市西吉縣、海西蒙古族天峻縣、廣西河池市鳳山縣、哈爾濱市依蘭縣、海東市化隆回族自治縣、宜春市宜豐縣、汕頭市澄海區(qū)
海西蒙古族烏蘭縣、大連市沙河口區(qū)、南陽(yáng)市淅川縣、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、綏化市綏棱縣、濟(jì)寧市梁山縣、常德市石門縣、黃南尖扎縣
東莞市莞城街道、贛州市龍南市、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、煙臺(tái)市福山區(qū)、孝感市漢川市、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、昆明市五華區(qū)、黃山市屯溪區(qū)
甘孜新龍縣、雅安市天全縣、廣西崇左市大新縣、雙鴨山市饒河縣、上海市寶山區(qū)
安康市寧陜縣、天水市秦州區(qū)、臨汾市大寧縣、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、昭通市永善縣、恩施州巴東縣
臨汾市汾西縣、漢中市佛坪縣、哈爾濱市雙城區(qū)、龍巖市上杭縣、贛州市尋烏縣、中山市港口鎮(zhèn)
中山市大涌鎮(zhèn)、咸陽(yáng)市涇陽(yáng)縣、楚雄姚安縣、文昌市東閣鎮(zhèn)、齊齊哈爾市龍江縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、廣西貴港市覃塘區(qū)、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、黔東南臺(tái)江縣
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內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、東莞市萬(wàn)江街道、邵陽(yáng)市新寧縣、儋州市白馬井鎮(zhèn)、蕪湖市鏡湖區(qū)
直轄縣潛江市、蘇州市吳中區(qū)、咸陽(yáng)市三原縣、徐州市銅山區(qū)、宜賓市興文縣
白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、青島市平度市、沈陽(yáng)市法庫(kù)縣、忻州市保德縣、周口市淮陽(yáng)區(qū)、合肥市巢湖市、昆明市富民縣
呂梁市嵐縣、武威市民勤縣、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市、上饒市信州區(qū)、銅仁市印江縣、廣西桂林市陽(yáng)朔縣、三明市將樂縣、蕪湖市南陵縣
臨汾市曲沃縣、渭南市韓城市、蘭州市七里河區(qū)、張家界市慈利縣、滁州市瑯琊區(qū)、楚雄姚安縣、鹽城市鹽都區(qū)
廣西梧州市岑溪市、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、六安市裕安區(qū)、茂名市高州市、玉樹曲麻萊縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市
宜昌市猇亭區(qū)、太原市古交市、呂梁市柳林縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、葫蘆島市龍港區(qū)、涼山昭覺縣、怒江傈僳族自治州福貢縣
襄陽(yáng)市樊城區(qū)、成都市青白江區(qū)、張掖市高臺(tái)縣、恩施州來(lái)鳳縣、重慶市奉節(jié)縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、佳木斯市湯原縣、菏澤市鄄城縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、武威市涼州區(qū)
銅陵市義安區(qū)、安陽(yáng)市殷都區(qū)、廣西南寧市江南區(qū)、直轄縣仙桃市、荊門市鐘祥市、忻州市偏關(guān)縣
鶴崗市興山區(qū)、蘇州市昆山市、深圳市光明區(qū)、孝感市孝昌縣、白城市鎮(zhèn)賚縣、寧夏吳忠市青銅峽市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、岳陽(yáng)市華容縣、濟(jì)南市歷城區(qū)
黑河市遜克縣、汕尾市海豐縣、杭州市拱墅區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市康平縣、武漢市新洲區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、蚌埠市五河縣
河源市和平縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、黃岡市羅田縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、宜春市上高縣、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)
臨沂市臨沭縣、南陽(yáng)市新野縣、駐馬店市上蔡縣、中山市小欖鎮(zhèn)、三亞市崖州區(qū)、武漢市江岸區(qū)
寧夏銀川市永寧縣、清遠(yuǎn)市佛岡縣、無(wú)錫市濱湖區(qū)、齊齊哈爾市龍沙區(qū)、杭州市蕭山區(qū)
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、黃山市屯溪區(qū)、淄博市桓臺(tái)縣、河源市連平縣、成都市新都區(qū)、遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、晉中市太谷區(qū)
西安市臨潼區(qū)、龍巖市武平縣、隴南市徽縣、佳木斯市樺南縣、廣西桂林市靈川縣、佛山市南海區(qū)、嘉興市南湖區(qū)、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、黃山市休寧縣
紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、銅仁市石阡縣、三沙市西沙區(qū)、玉樹雜多縣、東莞市常平鎮(zhèn)
淮安市淮安區(qū)、太原市古交市、樂山市夾江縣、黔南惠水縣、亳州市蒙城縣、株洲市荷塘區(qū)、廣安市岳池縣
遵義市仁懷市、文昌市東郊鎮(zhèn)、商丘市虞城縣、紅河河口瑤族自治縣、淮南市鳳臺(tái)縣、濰坊市寒亭區(qū)、銅仁市德江縣、東方市四更鎮(zhèn)
淄博市高青縣、大理祥云縣、郴州市汝城縣、三門峽市盧氏縣、鐵嶺市昌圖縣
瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、忻州市河曲縣、南平市松溪縣、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、雅安市漢源縣、長(zhǎng)春市二道區(qū)、晉中市平遙縣、焦作市修武縣
菏澤市巨野縣、長(zhǎng)沙市開福區(qū)、成都市都江堰市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、杭州市淳安縣、湘潭市雨湖區(qū)、武漢市新洲區(qū)
牡丹江市寧安市、煙臺(tái)市萊陽(yáng)市、定西市岷縣、永州市江永縣、朔州市平魯區(qū)、咸陽(yáng)市禮泉縣、錦州市凌河區(qū)
衢州市衢江區(qū)、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、荊門市京山市、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、十堰市竹溪縣、洛陽(yáng)市西工區(qū)
大同市云州區(qū)、常德市澧縣、湖州市吳興區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、迪慶德欽縣、昭通市水富市、重慶市永川區(qū)
屯昌縣楓木鎮(zhèn)、大連市莊河市、阿壩藏族羌族自治州理縣、樂東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、牡丹江市穆棱市
淮北市濉溪縣、通化市柳河縣、南京市棲霞區(qū)、連云港市灌南縣、渭南市富平縣、東營(yíng)市墾利區(qū)、三沙市南沙區(qū)、呂梁市汾陽(yáng)市
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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