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常州市天寧區(qū)、黑河市五大連池市、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、雙鴨山市寶山區(qū)、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)
邵陽(yáng)市新邵縣、瀘州市瀘縣、杭州市蕭山區(qū)、西雙版納景洪市、北京市通州區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、淮北市相山區(qū)
重慶市豐都縣、上海市虹口區(qū)、衡陽(yáng)市衡東縣、婁底市漣源市、眉山市洪雅縣、淮南市大通區(qū)、龍巖市永定區(qū)、吉安市泰和縣、衢州市龍游縣
樂(lè)山市五通橋區(qū)、大理賓川縣、商洛市柞水縣、六盤(pán)水市水城區(qū)、漢中市勉縣
常州市金壇區(qū)、株洲市炎陵縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、佳木斯市樺川縣、滁州市定遠(yuǎn)縣、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、哈爾濱市延壽縣、綿陽(yáng)市安州區(qū)、鐵嶺市銀州區(qū)
巴中市巴州區(qū)、北京市順義區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、延邊延吉市、湘西州花垣縣
定安縣新竹鎮(zhèn)、武漢市東西湖區(qū)、重慶市渝中區(qū)、文昌市東郊鎮(zhèn)、蘭州市永登縣、贛州市全南縣、瀘州市瀘縣、西安市周至縣
成都市新都區(qū)、汕頭市濠江區(qū)、呂梁市交城縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、雙鴨山市尖山區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)縣
朝陽(yáng)市北票市、廣西南寧市馬山縣、涼山越西縣、廈門(mén)市湖里區(qū)、萍鄉(xiāng)市蘆溪縣
臺(tái)州市溫嶺市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、成都市龍泉驛區(qū)、臨夏和政縣、昆明市富民縣、臨滄市臨翔區(qū)、駐馬店市上蔡縣、安康市寧陜縣、上饒市信州區(qū)
臨汾市安澤縣、駐馬店市上蔡縣、伊春市友好區(qū)、襄陽(yáng)市襄城區(qū)、上海市浦東新區(qū)、延安市寶塔區(qū)、漢中市鎮(zhèn)巴縣、臨夏廣河縣、揭陽(yáng)市揭西縣、遵義市赤水市
成都市錦江區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)、贛州市興國(guó)縣、瀘州市納溪區(qū)、吉林市船營(yíng)區(qū)
天津市濱海新區(qū)、南充市嘉陵區(qū)、玉溪市澄江市、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、黃岡市黃梅縣、榆林市橫山區(qū)
清遠(yuǎn)市連南瑤族自治縣、宜昌市長(zhǎng)陽(yáng)土家族自治縣、太原市迎澤區(qū)、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)、佳木斯市富錦市、牡丹江市綏芬河市、南平市浦城縣、資陽(yáng)市安岳縣、佳木斯市撫遠(yuǎn)市
宿州市蕭縣、荊州市洪湖市、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、甘孜稻城縣、運(yùn)城市稷山縣、湘西州鳳凰縣、昭通市巧家縣、重慶市巫山縣、商洛市商南縣、廣西河池市宜州區(qū)
中山市東鳳鎮(zhèn)、宜昌市西陵區(qū)、黃岡市紅安縣、菏澤市巨野縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)、甘孜石渠縣、溫州市龍港市、蘇州市吳中區(qū)
曲靖市師宗縣、深圳市羅湖區(qū)、隨州市曾都區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)、黃山市祁門(mén)縣
洛陽(yáng)市澗西區(qū)、上海市青浦區(qū)、海南同德縣、威海市榮成市、攀枝花市西區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)
雙鴨山市寶山區(qū)、撫州市黎川縣、連云港市灌南縣、哈爾濱市香坊區(qū)、榆林市靖邊縣
內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、淄博市沂源縣、銅川市耀州區(qū)、郴州市宜章縣、寧德市周寧縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)
荊州市監(jiān)利市、通化市柳河縣、廣州市南沙區(qū)、深圳市龍華區(qū)、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、安康市漢濱區(qū)、大理南澗彝族自治縣、臨沂市臨沭縣
臨夏永靖縣、淄博市張店區(qū)、東莞市高埗鎮(zhèn)、宿遷市宿城區(qū)、鶴崗市興安區(qū)
定安縣龍門(mén)鎮(zhèn)、北京市東城區(qū)、海北祁連縣、安慶市岳西縣、鐵嶺市昌圖縣、咸陽(yáng)市彬州市、邵陽(yáng)市隆回縣、淮安市盱眙縣
青島市黃島區(qū)、武漢市青山區(qū)、鶴壁市鶴山區(qū)、樂(lè)東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、邵陽(yáng)市武岡市、泰州市海陵區(qū)
常德市武陵區(qū)、廣西百色市德?？h、重慶市石柱土家族自治縣、沈陽(yáng)市大東區(qū)、信陽(yáng)市光山縣、麗水市景寧畬族自治縣、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、白山市渾江區(qū)、龍巖市漳平市、吉安市永新縣
荊州市松滋市、臨汾市隰縣、阜陽(yáng)市太和縣、常德市石門(mén)縣、淄博市張店區(qū)
伊春市南岔縣、惠州市惠城區(qū)、成都市邛崍市、滁州市明光市、大同市天鎮(zhèn)縣、莆田市涵江區(qū)、楚雄雙柏縣、宜春市上高縣、揭陽(yáng)市榕城區(qū)
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濱州市無(wú)棣縣、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、成都市邛崍市、南平市浦城縣、大慶市肇源縣、駐馬店市西平縣
中山市中山港街道、杭州市下城區(qū)、寧波市北侖區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、文昌市龍樓鎮(zhèn)、株洲市醴陵市、黑河市北安市
商丘市睢縣、黔東南錦屏縣、蚌埠市五河縣、駐馬店市西平縣、襄陽(yáng)市棗陽(yáng)市
襄陽(yáng)市樊城區(qū)、瓊海市萬(wàn)泉鎮(zhèn)、齊齊哈爾市建華區(qū)、衡陽(yáng)市祁東縣、南陽(yáng)市桐柏縣、萬(wàn)寧市東澳鎮(zhèn)、茂名市信宜市、天津市河西區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、湛江市麻章區(qū)、廣西柳州市柳城縣、昆明市石林彝族自治縣、丹東市振安區(qū)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)
寶雞市太白縣、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、廣西柳州市柳城縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、廣西崇左市天等縣、鐵嶺市清河區(qū)、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、撫州市金溪縣
攀枝花市米易縣、濰坊市諸城市、安順市平壩區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、昆明市東川區(qū)、黑河市孫吳縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)
臺(tái)州市三門(mén)縣、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、聊城市東阿縣、河源市和平縣、上海市青浦區(qū)、蘇州市昆山市
廣西梧州市藤縣、大同市新榮區(qū)、河源市和平縣、六安市裕安區(qū)、丹東市鳳城市、德州市齊河縣、海南貴南縣、宜昌市猇亭區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、臨沂市沂南縣、南陽(yáng)市西峽縣、邵陽(yáng)市新邵縣
銅川市耀州區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、上海市寶山區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、廣西南寧市興寧區(qū)、松原市乾安縣、廣西南寧市隆安縣、海南同德縣
淮北市杜集區(qū)、寧波市海曙區(qū)、白山市靖宇縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)、朔州市應(yīng)縣、廣元市蒼溪縣、隴南市西和縣
廣西柳州市城中區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼后旗、宿遷市泗洪縣、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、廣西北海市合浦縣、廈門(mén)市海滄區(qū)、咸陽(yáng)市旬邑縣、福州市平潭縣、臨滄市滄源佤族自治縣、廣西南寧市興寧區(qū)
鄂州市梁子湖區(qū)、湘西州保靖縣、大同市靈丘縣、蘇州市姑蘇區(qū)、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、肇慶市懷集縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)
營(yíng)口市蓋州市、上海市楊浦區(qū)、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、淮北市杜集區(qū)、畢節(jié)市赫章縣、寧波市象山縣、湘潭市岳塘區(qū)
長(zhǎng)沙市望城區(qū)、文昌市龍樓鎮(zhèn)、甘孜色達(dá)縣、煙臺(tái)市牟平區(qū)、西寧市城北區(qū)、九江市柴桑區(qū)
錦州市凌海市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、汕頭市龍湖區(qū)、常州市天寧區(qū)、朔州市右玉縣、綏化市北林區(qū)、運(yùn)城市絳縣、邵陽(yáng)市北塔區(qū)
合肥市長(zhǎng)豐縣、齊齊哈爾市依安縣、聊城市冠縣、果洛達(dá)日縣、南通市如皋市、周口市沈丘縣、廣西賀州市昭平縣
涼山金陽(yáng)縣、東方市天安鄉(xiāng)、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、杭州市上城區(qū)、廣西北海市銀海區(qū)、東莞市塘廈鎮(zhèn)
文昌市東郊鎮(zhèn)、周口市商水縣、平頂山市寶豐縣、成都市溫江區(qū)、西安市長(zhǎng)安區(qū)、長(zhǎng)春市榆樹(shù)市、涼山雷波縣
內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、寧德市周寧縣、許昌市建安區(qū)、安康市鎮(zhèn)坪縣、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、衡陽(yáng)市南岳區(qū)、溫州市平陽(yáng)縣、撫順市新賓滿族自治縣
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五指山市通什、安順市普定縣、海南同德縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、菏澤市鄆城縣、咸寧市通山縣、重慶市沙坪壩區(qū)、梅州市平遠(yuǎn)縣、北京市平谷區(qū)、澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、玉樹(shù)曲麻萊縣、合肥市包河區(qū)、黔南惠水縣、內(nèi)蒙古赤峰市巴林右旗、佛山市三水區(qū)、滁州市來(lái)安縣、朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、麗水市遂昌縣
三門(mén)峽市盧氏縣、玉樹(shù)玉樹(shù)市、安順市西秀區(qū)、長(zhǎng)治市潞城區(qū)、菏澤市單縣、昆明市安寧市、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)
西雙版納景洪市、黃石市黃石港區(qū)、咸寧市通山縣、葫蘆島市連山區(qū)、大同市陽(yáng)高縣、大同市天鎮(zhèn)縣、滁州市南譙區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、龍巖市漳平市、淮南市大通區(qū)、重慶市城口縣、甘孜巴塘縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣、安慶市太湖縣、七臺(tái)河市新興區(qū)、荊門(mén)市沙洋縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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