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咸陽市秦都區(qū)、廣西梧州市蒙山縣、沈陽市于洪區(qū)、北京市石景山區(qū)、黃岡市浠水縣、鐵嶺市開原市
臨滄市滄源佤族自治縣、洛陽市欒川縣、綏化市明水縣、長治市沁源縣、畢節(jié)市納雍縣、甘孜色達縣、呂梁市離石區(qū)、蘭州市永登縣、景德鎮(zhèn)市浮梁縣
黑河市愛輝區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、涼山會東縣、南通市崇川區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、果洛瑪沁縣
南昌市青山湖區(qū)、江門市開平市、儋州市東成鎮(zhèn)、北京市順義區(qū)、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、東莞市常平鎮(zhèn)、大理漾濞彝族自治縣、洛陽市老城區(qū)、綿陽市安州區(qū)
東莞市樟木頭鎮(zhèn)、成都市郫都區(qū)、周口市鹿邑縣、天津市薊州區(qū)、蕪湖市南陵縣、溫州市永嘉縣、聊城市東昌府區(qū)、寧德市霞浦縣
杭州市拱墅區(qū)、黔南甕安縣、慶陽市慶城縣、晉中市太谷區(qū)、遼陽市文圣區(qū)、曲靖市師宗縣、重慶市萬州區(qū)、齊齊哈爾市富裕縣、遼源市龍山區(qū)
無錫市宜興市、撫順市順城區(qū)、哈爾濱市延壽縣、大理洱源縣、天水市武山縣、肇慶市高要區(qū)、三亞市海棠區(qū)、洛陽市洛寧縣、許昌市鄢陵縣
徐州市新沂市、齊齊哈爾市訥河市、黃岡市黃州區(qū)、延安市寶塔區(qū)、合肥市肥東縣
撫州市黎川縣、黃山市祁門縣、晉中市祁縣、南昌市南昌縣、北京市平谷區(qū)、廣西南寧市馬山縣、湖州市長興縣、黔東南凱里市、安慶市宿松縣
信陽市平橋區(qū)、汕尾市陸河縣、瓊海市長坡鎮(zhèn)、德州市夏津縣、湖州市德清縣、大同市新榮區(qū)、漢中市鎮(zhèn)巴縣、金華市金東區(qū)、福州市永泰縣、莆田市涵江區(qū)
濰坊市昌樂縣、廣州市黃埔區(qū)、綏化市海倫市、張掖市民樂縣、湛江市霞山區(qū)、張掖市山丹縣
常德市漢壽縣、淮南市謝家集區(qū)、懷化市靖州苗族侗族自治縣、四平市鐵西區(qū)、宜賓市珙縣、成都市龍泉驛區(qū)、上海市長寧區(qū)
懷化市洪江市、臨夏和政縣、青島市城陽區(qū)、阜陽市潁東區(qū)、重慶市大足區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣
重慶市綦江區(qū)、十堰市竹山縣、眉山市仁壽縣、達州市達川區(qū)、延安市宜川縣、廣西柳州市柳南區(qū)、蘭州市七里河區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣
無錫市錫山區(qū)、沈陽市于洪區(qū)、岳陽市平江縣、駐馬店市確山縣、白山市長白朝鮮族自治縣、福州市永泰縣、天津市南開區(qū)
南通市如東縣、南昌市安義縣、河源市源城區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、麗水市蓮都區(qū)、東營市東營區(qū)、營口市鲅魚圈區(qū)
懷化市麻陽苗族自治縣、金華市蘭溪市、菏澤市成武縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、武威市涼州區(qū)、黑河市孫吳縣
甘孜瀘定縣、三明市尤溪縣、福州市羅源縣、臨汾市霍州市、佳木斯市樺南縣、襄陽市樊城區(qū)
達州市宣漢縣、哈爾濱市巴彥縣、南陽市臥龍區(qū)、平頂山市郟縣、淮安市淮陰區(qū)、白山市撫松縣、湖州市吳興區(qū)
安康市石泉縣、寧夏銀川市永寧縣、西寧市城中區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、深圳市寶安區(qū)
廣西梧州市蒙山縣、日照市莒縣、煙臺市蓬萊區(qū)、隴南市成縣、文山丘北縣、朔州市朔城區(qū)、重慶市忠縣、牡丹江市西安區(qū)、安康市平利縣
安陽市湯陰縣、肇慶市懷集縣、漳州市長泰區(qū)、深圳市坪山區(qū)、南京市浦口區(qū)
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、平頂山市葉縣、牡丹江市海林市、臺州市溫嶺市、蘭州市紅古區(qū)、南京市鼓樓區(qū)、衡陽市耒陽市、蘭州市安寧區(qū)、文昌市文城鎮(zhèn)
安慶市迎江區(qū)、濟源市市轄區(qū)、鶴崗市東山區(qū)、瀘州市瀘縣、肇慶市高要區(qū)、涼山布拖縣、十堰市茅箭區(qū)、瀘州市合江縣、遼源市龍山區(qū)、重慶市九龍坡區(qū)
內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、廣西柳州市城中區(qū)、四平市雙遼市、聊城市高唐縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、東營市墾利區(qū)、長治市上黨區(qū)、咸寧市嘉魚縣
延邊圖們市、運城市萬榮縣、宜昌市秭歸縣、廣州市南沙區(qū)、廣西柳州市魚峰區(qū)、綏化市慶安縣、蚌埠市蚌山區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、遵義市播州區(qū)
澄邁縣中興鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏海市烏達區(qū)、十堰市竹山縣、甘孜稻城縣、漢中市佛坪縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、洛陽市新安縣、北京市大興區(qū)、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、鶴壁市山城區(qū)
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文昌市公坡鎮(zhèn)、雙鴨山市寶山區(qū)、九江市武寧縣、廣西柳州市柳南區(qū)、文山文山市、河源市和平縣、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、長春市寬城區(qū)
萍鄉(xiāng)市上栗縣、資陽市雁江區(qū)、孝感市大悟縣、長春市九臺區(qū)、安康市漢濱區(qū)、常德市漢壽縣
懷化市通道侗族自治縣、運城市夏縣、安陽市湯陰縣、廣西桂林市疊彩區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、四平市梨樹縣、樂東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、昆明市五華區(qū)、清遠市連山壯族瑤族自治縣
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普洱市江城哈尼族彝族自治縣、廣安市華鎣市、懷化市新晃侗族自治縣、咸陽市興平市、池州市青陽縣、延安市甘泉縣、襄陽市樊城區(qū)、成都市邛崍市、蘭州市安寧區(qū)、吉安市泰和縣
濱州市惠民縣、駐馬店市正陽縣、南陽市淅川縣、重慶市江津區(qū)、東莞市清溪鎮(zhèn)、成都市大邑縣、太原市杏花嶺區(qū)、咸寧市通城縣、臨沂市河?xùn)|區(qū)
張掖市臨澤縣、天津市寶坻區(qū)、淮北市烈山區(qū)、連云港市連云區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)、晉中市左權(quán)縣、文昌市重興鎮(zhèn)、咸陽市秦都區(qū)
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江門市臺山市、曲靖市宣威市、安康市鎮(zhèn)坪縣、張家界市武陵源區(qū)、太原市尖草坪區(qū)、襄陽市保康縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、安陽市內(nèi)黃縣
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商洛市丹鳳縣、果洛甘德縣、萬寧市南橋鎮(zhèn)、菏澤市牡丹區(qū)、信陽市光山縣
廣西桂林市雁山區(qū)、宜春市高安市、濰坊市安丘市、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、廣安市鄰水縣、大同市天鎮(zhèn)縣
黔南獨山縣、運城市聞喜縣、漢中市洋縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、開封市尉氏縣
廣安市廣安區(qū)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、大慶市肇州縣、大連市莊河市、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、曲靖市富源縣、漢中市城固縣、蕪湖市無為市
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成都市金牛區(qū)、蘇州市太倉市、棗莊市薛城區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、湘西州吉首市、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、葫蘆島市龍港區(qū)、重慶市南岸區(qū)、徐州市賈汪區(qū)、臨高縣皇桐鎮(zhèn)
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福州市羅源縣、綏化市北林區(qū)、武漢市江夏區(qū)、廣西崇左市大新縣、咸陽市旬邑縣、廣西柳州市鹿寨縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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