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連云港市東海縣、深圳市龍華區(qū)、郴州市安仁縣、涼山德昌縣、岳陽(yáng)市汨羅市、阜新市彰武縣、韶關(guān)市武江區(qū)、惠州市博羅縣、西安市長(zhǎng)安區(qū)
樂東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、泉州市金門縣、安慶市潛山市、鶴壁市鶴山區(qū)、北京市通州區(qū)、昭通市大關(guān)縣、株洲市攸縣、龍巖市武平縣、寧夏中衛(wèi)市中寧縣
樂山市金口河區(qū)、深圳市寶安區(qū)、錦州市黑山縣、廣西桂林市七星區(qū)、廣州市花都區(qū)、昭通市彝良縣、臨高縣新盈鎮(zhèn)、滁州市來安縣、果洛瑪多縣
岳陽(yáng)市平江縣、曲靖市陸良縣、撫州市臨川區(qū)、惠州市博羅縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、延安市甘泉縣
溫州市文成縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、淮北市相山區(qū)、贛州市瑞金市、臨沂市臨沭縣、遂寧市射洪市
廣西防城港市防城區(qū)、河源市東源縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、本溪市桓仁滿族自治縣、畢節(jié)市赫章縣、漳州市云霄縣、威海市榮成市
淮南市田家庵區(qū)、聊城市茌平區(qū)、廣西賀州市昭平縣、廣西欽州市浦北縣、寧波市江北區(qū)、白山市撫松縣、伊春市金林區(qū)、衡陽(yáng)市祁東縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、南陽(yáng)市南召縣
雅安市雨城區(qū)、上饒市弋陽(yáng)縣、杭州市上城區(qū)、焦作市山陽(yáng)區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、黔東南丹寨縣
眉山市青神縣、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、本溪市本溪滿族自治縣、淮安市清江浦區(qū)、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)
鶴崗市綏濱縣、安慶市宜秀區(qū)、商洛市柞水縣、紅河開遠(yuǎn)市、黑河市愛輝區(qū)、南京市秦淮區(qū)、甘孜康定市
東營(yíng)市廣饒縣、肇慶市廣寧縣、楚雄武定縣、甘孜道孚縣、濱州市無棣縣、定安縣富文鎮(zhèn)、聊城市冠縣
東莞市橫瀝鎮(zhèn)、濰坊市寒亭區(qū)、普洱市思茅區(qū)、煙臺(tái)市萊州市、九江市共青城市、內(nèi)江市東興區(qū)、永州市藍(lán)山縣、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市、新鄉(xiāng)市輝縣市、宜昌市點(diǎn)軍區(qū)
麗水市蓮都區(qū)、鶴崗市興山區(qū)、昆明市西山區(qū)、呂梁市汾陽(yáng)市、南陽(yáng)市南召縣、濮陽(yáng)市華龍區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)
廣西百色市右江區(qū)、寧波市江北區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、深圳市龍華區(qū)、武漢市新洲區(qū)、麗水市慶元縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、洛陽(yáng)市宜陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市
廣州市越秀區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、四平市鐵西區(qū)、丹東市鳳城市、肇慶市鼎湖區(qū)
孝感市大悟縣、荊門市鐘祥市、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、吉安市峽江縣、龍巖市新羅區(qū)、貴陽(yáng)市息烽縣
北京市西城區(qū)、西安市周至縣、阜陽(yáng)市臨泉縣、長(zhǎng)治市襄垣縣、保山市昌寧縣、瓊海市萬泉鎮(zhèn)、廣西桂林市荔浦市
懷化市通道侗族自治縣、廣安市鄰水縣、懷化市辰溪縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、廣西河池市都安瑤族自治縣、南陽(yáng)市淅川縣、濰坊市青州市
黃山市黟縣、南充市閬中市、玉樹治多縣、南京市高淳區(qū)、延邊琿春市、樂山市井研縣
宿州市蕭縣、荊州市洪湖市、屯昌縣烏坡鎮(zhèn)、甘孜稻城縣、運(yùn)城市稷山縣、湘西州鳳凰縣、昭通市巧家縣、重慶市巫山縣、商洛市商南縣、廣西河池市宜州區(qū)
南陽(yáng)市唐河縣、甘孜九龍縣、黃石市黃石港區(qū)、貴陽(yáng)市南明區(qū)、長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)、湖州市南潯區(qū)
楚雄雙柏縣、眉山市洪雅縣、甘孜鄉(xiāng)城縣、淮南市謝家集區(qū)、涼山越西縣、宣城市宣州區(qū)、定安縣龍湖鎮(zhèn)、四平市公主嶺市、曲靖市羅平縣
大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、青島市萊西市、渭南市華陰市、湘潭市雨湖區(qū)、濟(jì)南市槐蔭區(qū)、銅仁市江口縣
中山市東鳳鎮(zhèn)、宜昌市西陵區(qū)、黃岡市紅安縣、菏澤市巨野縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)、甘孜石渠縣、溫州市龍港市、蘇州市吳中區(qū)
黃石市陽(yáng)新縣、嘉興市海寧市、鄭州市上街區(qū)、定安縣龍河鎮(zhèn)、鞍山市鐵東區(qū)、黃岡市英山縣、東方市天安鄉(xiāng)、岳陽(yáng)市臨湘市
南京市棲霞區(qū)、五指山市水滿、漯河市臨潁縣、雞西市麻山區(qū)、湛江市吳川市、銅川市耀州區(qū)
信陽(yáng)市潢川縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣、黔東南從江縣、泉州市金門縣、郴州市蘇仙區(qū)、黑河市遜克縣、佛山市高明區(qū)、黃岡市黃梅縣
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南京市江寧區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、中山市石岐街道、聊城市東昌府區(qū)、上海市黃浦區(qū)、白銀市平川區(qū)、商丘市柘城縣、儋州市海頭鎮(zhèn)、忻州市靜樂縣
武漢市硚口區(qū)、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、江門市恩平市、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、金華市永康市、定西市安定區(qū)、盤錦市興隆臺(tái)區(qū)、舟山市嵊泗縣
蚌埠市五河縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、本溪市南芬區(qū)、長(zhǎng)沙市寧鄉(xiāng)市、牡丹江市東安區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、常德市石門縣、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、廣西河池市巴馬瑤族自治縣
甘孜巴塘縣、廣州市越秀區(qū)、松原市寧江區(qū)、萬寧市龍滾鎮(zhèn)、南充市順慶區(qū)、商洛市商州區(qū)、渭南市白水縣、文山廣南縣
洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣、綿陽(yáng)市平武縣、廣西南寧市橫州市、孝感市云夢(mèng)縣、潮州市潮安區(qū)
臨沂市蘭山區(qū)、廣西河池市都安瑤族自治縣、常州市溧陽(yáng)市、寧夏銀川市興慶區(qū)、麗水市松陽(yáng)縣、滁州市瑯琊區(qū)、重慶市北碚區(qū)
內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、紅河個(gè)舊市、云浮市新興縣、駐馬店市上蔡縣、營(yíng)口市站前區(qū)、焦作市溫縣、紹興市柯橋區(qū)、漢中市略陽(yáng)縣、淮南市大通區(qū)、揭陽(yáng)市普寧市
深圳市龍崗區(qū)、海西蒙古族烏蘭縣、淄博市淄川區(qū)、臨夏永靖縣、運(yùn)城市萬榮縣、錦州市凌河區(qū)、信陽(yáng)市光山縣、晉城市沁水縣
臨汾市大寧縣、榆林市定邊縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、牡丹江市東安區(qū)、衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)、鄭州市二七區(qū)、韶關(guān)市仁化縣、白沙黎族自治縣七坊鎮(zhèn)、晉中市昔陽(yáng)縣
徐州市睢寧縣、黃岡市英山縣、安慶市大觀區(qū)、天水市秦州區(qū)、焦作市馬村區(qū)、紹興市越城區(qū)、大理南澗彝族自治縣
甘南臨潭縣、運(yùn)城市絳縣、西安市新城區(qū)、定西市安定區(qū)、伊春市金林區(qū)、聊城市莘縣、上饒市婺源縣、寧德市古田縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)
通化市輝南縣、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、廣西欽州市浦北縣、廣西崇左市江州區(qū)、海東市平安區(qū)、青島市李滄區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、大慶市肇源縣
六安市金寨縣、廣西柳州市鹿寨縣、德州市臨邑縣、南昌市進(jìn)賢縣、廣州市番禺區(qū)、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、吉林市舒蘭市、寧德市霞浦縣、運(yùn)城市鹽湖區(qū)、文山富寧縣
綏化市肇東市、黃南同仁市、揚(yáng)州市廣陵區(qū)、廣西北海市海城區(qū)、海北祁連縣、廈門市同安區(qū)、合肥市廬陽(yáng)區(qū)、商洛市柞水縣、伊春市伊美區(qū)
黃岡市紅安縣、東莞市黃江鎮(zhèn)、汕尾市陸豐市、焦作市解放區(qū)、黃南同仁市、成都市成華區(qū)、溫州市龍港市
澄邁縣老城鎮(zhèn)、玉溪市江川區(qū)、淮安市盱眙縣、重慶市城口縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、重慶市銅梁區(qū)
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三亞市崖州區(qū)、攀枝花市東區(qū)、駐馬店市泌陽(yáng)縣、濰坊市濰城區(qū)、菏澤市東明縣、運(yùn)城市平陸縣
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安慶市望江縣、西安市蓮湖區(qū)、湘潭市湘鄉(xiāng)市、張掖市甘州區(qū)、紹興市嵊州市、信陽(yáng)市商城縣、廣元市青川縣
商丘市睢縣、遼源市西安區(qū)、延邊汪清縣、湘西州花垣縣、潮州市湘橋區(qū)、三門峽市湖濱區(qū)
鶴崗市綏濱縣、湘西州古丈縣、營(yíng)口市西市區(qū)、無錫市梁溪區(qū)、邵陽(yáng)市新寧縣、岳陽(yáng)市平江縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)
臨沂市蒙陰縣、肇慶市端州區(qū)、雅安市蘆山縣、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、開封市順河回族區(qū)、渭南市蒲城縣、濟(jì)寧市金鄉(xiāng)縣、鶴崗市興安區(qū)、濱州市陽(yáng)信縣、衡陽(yáng)市南岳區(qū)
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溫州市永嘉縣、忻州市神池縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、??谑行阌^(qū)、鐵嶺市調(diào)兵山市、德州市平原縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀:發(fā)布多款設(shè)備,撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀,成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展(SEMICON China 2025)的焦點(diǎn)。
3月26日-27日,深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品,包括外延沉積設(shè)備EPI(峨眉山)、原子層沉積設(shè)備ALD(阿里山)、物理氣相沉積設(shè)備PVD(普陀山)、刻蝕設(shè)備ETCH(武夷山)、薄膜沉積設(shè)備CVD(長(zhǎng)白山)。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面,首次參展便發(fā)布了多款新品,吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示,新凱來工業(yè)成立于2022年,其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年,兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股,而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝,直接影響芯片性能與可靠性;ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積,是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備;CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一,設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。

這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo),新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上,EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷;ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo),市占率合計(jì)超60%;在PVD領(lǐng)域,AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱,新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì),能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制,技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷,在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn),可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布,已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā),并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域,通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’,貫穿集成電路生產(chǎn)全過程,對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?!币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到,隨著制程演進(jìn),集成電路前道工藝的步驟越來越多,檢量測(cè)重要性日漸凸顯,主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展,需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加,設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如,28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序,而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí),只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%,最終的良品率方可超過95%;當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí),最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元,在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中,中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元,全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%,市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是,量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出,相較于海外廠商,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚,當(dāng)前收入體量較小,國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%,但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速,主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類:一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品,包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示,這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證,2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX(物理和X射線)及功率檢測(cè)產(chǎn)品,包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中,PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付,功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示,新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型,覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來,公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月,新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”,解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前,新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示,“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題,國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先,我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過,國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕,也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案,并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極(僅次于上海、北京),但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì),疏于制造。過去幾年,因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化,深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上,顯露了不少短板,但如今,深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來,深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目,典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái),這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試,以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn),深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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