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長(zhǎng)沙市雨花區(qū)、阜陽市界首市、廣州市天河區(qū)、連云港市灌云縣、寧德市柘榮縣
鹽城市大豐區(qū)、甘孜石渠縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、池州市青陽縣、天水市張家川回族自治縣、佳木斯市湯原縣、鹽城市建湖縣、臨滄市云縣、涼山甘洛縣
東莞市望牛墩鎮(zhèn)、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、中山市南區(qū)街道、廣西賀州市富川瑤族自治縣、重慶市奉節(jié)縣
常州市溧陽市、隴南市康縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市、上饒市橫峰縣
曲靖市陸良縣、徐州市新沂市、杭州市臨安區(qū)、朝陽市朝陽縣、遂寧市蓬溪縣、武威市天祝藏族自治縣、中山市東鳳鎮(zhèn)、廣西欽州市靈山縣
濟(jì)寧市任城區(qū)、廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、鄭州市金水區(qū)、廣西南寧市青秀區(qū)、廣西桂林市資源縣
十堰市張灣區(qū)、安慶市太湖縣、廣西南寧市良慶區(qū)、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、恩施州利川市
萬寧市龍滾鎮(zhèn)、平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、齊齊哈爾市泰來縣、重慶市渝北區(qū)、泰安市新泰市、牡丹江市東寧市、白銀市景泰縣、自貢市大安區(qū)
湖州市南潯區(qū)、阜陽市阜南縣、雅安市滎經(jīng)縣、平?jīng)鍪星f浪縣、楚雄大姚縣、重慶市黔江區(qū)
黔西南冊(cè)亨縣、廣州市南沙區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、大理祥云縣、張掖市民樂縣、濰坊市昌邑市、晉中市靈石縣
臨夏廣河縣、太原市晉源區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)、湘西州永順縣、深圳市寶安區(qū)、平頂山市葉縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、上海市金山區(qū)、咸陽市永壽縣、忻州市繁峙縣
嘉興市平湖市、三明市三元區(qū)、宜賓市長(zhǎng)寧縣、衡陽市祁東縣、佛山市三水區(qū)
白城市鎮(zhèn)賚縣、沈陽市和平區(qū)、重慶市酉陽縣、臨沂市蘭山區(qū)、南陽市宛城區(qū)、榆林市佳縣
延安市富縣、鶴壁市淇濱區(qū)、湘潭市韶山市、葫蘆島市龍港區(qū)、江門市新會(huì)區(qū)
廣西桂林市荔浦市、蘭州市西固區(qū)、安陽市林州市、德陽市旌陽區(qū)、東莞市南城街道
寧德市福鼎市、昭通市巧家縣、衡陽市常寧市、蘇州市相城區(qū)、阜新市細(xì)河區(qū)、深圳市龍崗區(qū)、瓊海市石壁鎮(zhèn)、溫州市甌海區(qū)、北京市豐臺(tái)區(qū)
張掖市甘州區(qū)、上海市楊浦區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、平頂山市新華區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、邵陽市隆回縣、涼山鹽源縣、渭南市白水縣、綏化市蘭西縣
六安市裕安區(qū)、合肥市巢湖市、宜賓市珙縣、涼山布拖縣、吉林市蛟河市、廣西桂林市永福縣、宜春市銅鼓縣、南京市溧水區(qū)、哈爾濱市道外區(qū)、福州市臺(tái)江區(qū)
信陽市商城縣、郴州市臨武縣、迪慶德欽縣、撫州市金溪縣、宜昌市興山縣、信陽市新縣
紅河開遠(yuǎn)市、綏化市蘭西縣、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、龍巖市永定區(qū)、晉中市昔陽縣、連云港市灌云縣、淮安市金湖縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、廣西防城港市上思縣、晉中市太谷區(qū)、儋州市中和鎮(zhèn)、澄邁縣老城鎮(zhèn)、肇慶市德慶縣、駐馬店市新蔡縣、綿陽市鹽亭縣、儋州市東成鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市上栗縣
齊齊哈爾市克東縣、廣西柳州市柳城縣、廣安市岳池縣、濰坊市臨朐縣、梅州市興寧市、廣西百色市田林縣、煙臺(tái)市芝罘區(qū)
紅河彌勒市、常州市溧陽市、金華市浦江縣、鄭州市管城回族區(qū)、萬寧市長(zhǎng)豐鎮(zhèn)、蚌埠市固鎮(zhèn)縣
眉山市彭山區(qū)、湘西州鳳凰縣、衢州市柯城區(qū)、畢節(jié)市黔西市、涼山普格縣、錦州市黑山縣、汕尾市陸豐市、三明市將樂縣、德宏傣族景頗族自治州梁河縣
信陽市新縣、綿陽市游仙區(qū)、周口市扶溝縣、眉山市仁壽縣、寧波市慈溪市、遼陽市遼陽縣、成都市蒲江縣、延邊敦化市、焦作市山陽區(qū)
白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、陽泉市礦區(qū)、昆明市嵩明縣、阜新市細(xì)河區(qū)、廣西南寧市青秀區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗
儋州市峨蔓鎮(zhèn)、榆林市靖邊縣、金華市浦江縣、廣西桂林市靈川縣、延安市富縣
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渭南市大荔縣、九江市湖口縣、駐馬店市上蔡縣、貴陽市白云區(qū)、廣西桂林市全州縣、遼陽市文圣區(qū)、白山市渾江區(qū)、廣西柳州市融安縣、信陽市潢川縣、東莞市黃江鎮(zhèn)
西安市灞橋區(qū)、長(zhǎng)春市寬城區(qū)、上海市虹口區(qū)、清遠(yuǎn)市英德市、安慶市太湖縣、撫順市清原滿族自治縣
酒泉市敦煌市、廣西桂林市秀峰區(qū)、黔東南施秉縣、汕尾市陸豐市、徐州市新沂市、本溪市平山區(qū)
綿陽市游仙區(qū)、定西市臨洮縣、廣西來賓市忻城縣、開封市通許縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、上饒市鉛山縣、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、廣西河池市天峨縣
松原市長(zhǎng)嶺縣、無錫市江陰市、貴陽市開陽縣、龍巖市長(zhǎng)汀縣、銅仁市德江縣、武威市古浪縣、常德市漢壽縣
合肥市廬江縣、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、濟(jì)寧市梁山縣、韶關(guān)市南雄市、臨汾市洪洞縣、哈爾濱市延壽縣、佳木斯市同江市
大理彌渡縣、上海市青浦區(qū)、中山市南朗鎮(zhèn)、萬寧市和樂鎮(zhèn)、天水市武山縣、西安市周至縣、淄博市張店區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、吉安市遂川縣、金昌市金川區(qū)、合肥市巢湖市、大理巍山彝族回族自治縣
天水市秦安縣、蘭州市安寧區(qū)、伊春市伊美區(qū)、廣西柳州市鹿寨縣、菏澤市定陶區(qū)、涼山越西縣、淄博市張店區(qū)
遵義市習(xí)水縣、江門市新會(huì)區(qū)、郴州市北湖區(qū)、五指山市通什、衢州市開化縣、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)
漳州市薌城區(qū)、黔南甕安縣、信陽市潢川縣、菏澤市鄆城縣、淮南市潘集區(qū)、松原市扶余市
南陽市宛城區(qū)、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、吉林市昌邑區(qū)、自貢市貢井區(qū)、寧夏石嘴山市惠農(nóng)區(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、白銀市平川區(qū)、楚雄雙柏縣
昭通市鎮(zhèn)雄縣、大慶市薩爾圖區(qū)、佳木斯市同江市、阿壩藏族羌族自治州汶川縣、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣
西安市未央?yún)^(qū)、遂寧市大英縣、蘇州市昆山市、湖州市長(zhǎng)興縣、樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、平頂山市魯山縣、長(zhǎng)春市綠園區(qū)
東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、岳陽市岳陽樓區(qū)、文山西疇縣、廣西北海市鐵山港區(qū)、泉州市金門縣、咸陽市涇陽縣、果洛瑪多縣
荊州市公安縣、黑河市五大連池市、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、五指山市通什、昭通市鎮(zhèn)雄縣、韶關(guān)市湞江區(qū)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、太原市杏花嶺區(qū)
文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、九江市湖口縣、東莞市石龍鎮(zhèn)、通化市柳河縣、紹興市新昌縣、揭陽市惠來縣
白山市渾江區(qū)、白城市鎮(zhèn)賚縣、晉城市澤州縣、上海市徐匯區(qū)、廣州市番禺區(qū)、重慶市永川區(qū)
黔南獨(dú)山縣、運(yùn)城市聞喜縣、漢中市洋縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、開封市尉氏縣
寶雞市太白縣、遵義市湄潭縣、濮陽市范縣、呂梁市文水縣、呂梁市汾陽市、保山市施甸縣
鷹潭市余江區(qū)、舟山市嵊泗縣、海西蒙古族天峻縣、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣、漯河市臨潁縣、錦州市凌河區(qū)
濰坊市青州市、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、渭南市潼關(guān)縣、濰坊市坊子區(qū)、牡丹江市西安區(qū)、本溪市桓仁滿族自治縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、龍巖市永定區(qū)、海南貴德縣
廣州市番禺區(qū)、海北門源回族自治縣、大同市渾源縣、昭通市水富市、福州市平潭縣、安慶市懷寧縣、泰安市東平縣、麗江市古城區(qū)
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長(zhǎng)治市屯留區(qū)、德州市臨邑縣、樂山市市中區(qū)、上饒市德興市、東營(yíng)市墾利區(qū)、白山市靖宇縣、鷹潭市余江區(qū)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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