400服務(wù)電話：400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),2025新澳門王中王正版
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),2025新奧資料正版大全
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),2025精準(zhǔn)資料大全免費(fèi)：(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),新能源企業(yè)推出創(chuàng)新環(huán)保材料解決方案(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),2025年度精選資源全面開放
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),全新數(shù)據(jù)精準(zhǔn)傳輸技術(shù)革新方案
維修技師行為準(zhǔn)則，規(guī)范服務(wù)行為：我們?yōu)榫S修技師制定詳細(xì)的行為準(zhǔn)則，規(guī)范服務(wù)過(guò)程中的言行舉止，確保服務(wù)專業(yè)、禮貌。
維修服務(wù)24小時(shí)在線客服，隨時(shí)解答疑問(wèn)：設(shè)立24小時(shí)在線客服，隨時(shí)解答客戶關(guān)于家電使用、維修等方面的疑問(wèn)，提供即時(shí)幫助。
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),7777788888管家精準(zhǔn)管家婆免費(fèi)
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),維修服務(wù)電話全國(guó)服務(wù)區(qū)域：
資陽(yáng)市雁江區(qū)、杭州市西湖區(qū)、上海市寶山區(qū)、沈陽(yáng)市大東區(qū)、呂梁市方山縣、錦州市凌海市、黔南龍里縣、寧夏石嘴山市平羅縣、合肥市廬陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市
海西蒙古族烏蘭縣、宣城市宣州區(qū)、鷹潭市余江區(qū)、鹽城市響水縣、運(yùn)城市新絳縣、阜新市阜新蒙古族自治縣、北京市通州區(qū)、焦作市武陟縣
定安縣龍河鎮(zhèn)、資陽(yáng)市安岳縣、淄博市博山區(qū)、宜春市萬(wàn)載縣、黃石市下陸區(qū)
杭州市建德市、成都市都江堰市、咸陽(yáng)市彬州市、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、青島市李滄區(qū)、大慶市林甸縣、昭通市鹽津縣、河源市和平縣、駐馬店市上蔡縣
儋州市雅星鎮(zhèn)、廣西南寧市江南區(qū)、遂寧市船山區(qū)、漳州市東山縣、廣西賀州市鐘山縣
三明市尤溪縣、岳陽(yáng)市臨湘市、黔東南岑鞏縣、麗水市慶元縣、周口市西華縣、煙臺(tái)市龍口市、上海市崇明區(qū)、咸寧市咸安區(qū)、昆明市晉寧區(qū)
武漢市青山區(qū)、鶴崗市興山區(qū)、福州市閩侯縣、蘭州市七里河區(qū)、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、安慶市太湖縣、梅州市興寧市、榆林市神木市
大連市西崗區(qū)、廣安市前鋒區(qū)、慶陽(yáng)市慶城縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)、淮南市潘集區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)
九江市潯陽(yáng)區(qū)、廣州市海珠區(qū)、衢州市開化縣、徐州市豐縣、威海市榮成市、撫州市宜黃縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、蕪湖市弋江區(qū)、甘孜爐霍縣、五指山市番陽(yáng)
渭南市華州區(qū)、婁底市漣源市、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗、安康市紫陽(yáng)縣、永州市零陵區(qū)、五指山市毛陽(yáng)、焦作市馬村區(qū)
黔南貴定縣、合肥市瑤海區(qū)、中山市西區(qū)街道、邵陽(yáng)市城步苗族自治縣、寧波市象山縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、白銀市會(huì)寧縣、臨汾市安澤縣、涼山喜德縣
綿陽(yáng)市涪城區(qū)、海西蒙古族天峻縣、眉山市仁壽縣、襄陽(yáng)市老河口市、鹽城市亭湖區(qū)、海東市化隆回族自治縣、臨高縣博厚鎮(zhèn)
湘西州保靖縣、鎮(zhèn)江市句容市、鹽城市射陽(yáng)縣、黔東南榕江縣、德陽(yáng)市廣漢市、湛江市吳川市
黃石市陽(yáng)新縣、寧夏固原市涇源縣、咸陽(yáng)市乾縣、雅安市石棉縣、瀘州市合江縣、日照市東港區(qū)、曲靖市沾益區(qū)
東方市感城鎮(zhèn)、濰坊市諸城市、平頂山市舞鋼市、廣西崇左市龍州縣、沈陽(yáng)市大東區(qū)、濟(jì)寧市嘉祥縣
七臺(tái)河市茄子河區(qū)、廣西崇左市天等縣、廣西柳州市柳北區(qū)、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、中山市東區(qū)街道、北京市大興區(qū)、齊齊哈爾市訥河市、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)
廣西百色市田林縣、天津市西青區(qū)、福州市倉(cāng)山區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、臨汾市鄉(xiāng)寧縣、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)
葫蘆島市興城市、撫州市廣昌縣、北京市門頭溝區(qū)、紅河彌勒市、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗、隴南市文縣、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、平頂山市新華區(qū)
撫順市望花區(qū)、廣西賀州市平桂區(qū)、黔南惠水縣、南平市建甌市、湘西州龍山縣、洛陽(yáng)市伊川縣、延安市寶塔區(qū)、哈爾濱市通河縣、哈爾濱市香坊區(qū)、果洛瑪多縣
大同市平城區(qū)、眉山市青神縣、宜春市上高縣、商丘市夏邑縣、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、安順市西秀區(qū)、上海市徐匯區(qū)、榆林市綏德縣
玉溪市紅塔區(qū)、湘潭市岳塘區(qū)、永州市江永縣、中山市五桂山街道、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、中山市神灣鎮(zhèn)、臨高縣南寶鎮(zhèn)、東莞市塘廈鎮(zhèn)、通化市柳河縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、隴南市徽縣、聊城市東阿縣、九江市都昌縣、蘇州市姑蘇區(qū)、德陽(yáng)市中江縣、鞍山市鐵西區(qū)、臨沂市臨沭縣、淮安市盱眙縣
重慶市大渡口區(qū)、錦州市太和區(qū)、滁州市南譙區(qū)、廣西梧州市萬(wàn)秀區(qū)、濰坊市安丘市、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市
周口市鄲城縣、甘孜甘孜縣、聊城市陽(yáng)谷縣、陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、樂(lè)東黎族自治縣萬(wàn)沖鎮(zhèn)、孝感市大悟縣、鹽城市東臺(tái)市、清遠(yuǎn)市佛岡縣、渭南市臨渭區(qū)、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)
文山馬關(guān)縣、平頂山市寶豐縣、保亭黎族苗族自治縣什玲、文昌市重興鎮(zhèn)、吉安市峽江縣、大連市甘井子區(qū)、淮北市烈山區(qū)、北京市海淀區(qū)、重慶市豐都縣、丹東市元寶區(qū)
贛州市寧都縣、天津市西青區(qū)、瀘州市古藺縣、南陽(yáng)市社旗縣、懷化市鶴城區(qū)、廣西梧州市藤縣
郴州市桂陽(yáng)縣、臨汾市堯都區(qū)、黔南福泉市、廣西河池市金城江區(qū)、雙鴨山市寶清縣、濟(jì)寧市兗州區(qū)、臨汾市汾西縣、肇慶市四會(huì)市、德陽(yáng)市羅江區(qū)、商丘市寧陵縣
400服務(wù)電話：400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),新型環(huán)保材料助力綠色建筑發(fā)展
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),777778888精準(zhǔn)免費(fèi)四肖2025年
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),2025精準(zhǔn)免費(fèi)資料大全：(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),銘記歷史珍愛(ài)和平共創(chuàng)美好未來(lái)(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),77777888精準(zhǔn)四肖
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),2025新澳門精準(zhǔn)免費(fèi)大全168
維修過(guò)程中，我們將確保所有敏感數(shù)據(jù)得到妥善處理，保護(hù)您的信息安全。
我們承諾，所有維修服務(wù)均提供質(zhì)保期，讓您使用更加放心。
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),澳門特馬網(wǎng)站.www
2025新澳門和香港最精準(zhǔn)免費(fèi),維修服務(wù)電話全國(guó)服務(wù)區(qū)域：
東方市八所鎮(zhèn)、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、牡丹江市愛(ài)民區(qū)、漢中市城固縣、湛江市麻章區(qū)、鶴壁市淇縣、臨汾市汾西縣、通化市梅河口市、本溪市桓仁滿族自治縣
中山市神灣鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市潞州區(qū)、南通市崇川區(qū)、安慶市大觀區(qū)、孝感市云夢(mèng)縣、定西市岷縣、佛山市高明區(qū)
伊春市伊美區(qū)、慶陽(yáng)市寧縣、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、信陽(yáng)市羅山縣、濮陽(yáng)市南樂(lè)縣
白沙黎族自治縣元門鄉(xiāng)、永州市雙牌縣、紅河綠春縣、廣州市越秀區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、昆明市西山區(qū)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、東莞市道滘鎮(zhèn)
佳木斯市樺川縣、廣西桂林市雁山區(qū)、汕尾市城區(qū)、朔州市朔城區(qū)、重慶市梁平區(qū)、大慶市林甸縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗
永州市藍(lán)山縣、丹東市元寶區(qū)、玉溪市江川區(qū)、德州市寧津縣、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、三明市明溪縣、咸寧市崇陽(yáng)縣
臨高縣皇桐鎮(zhèn)、鄭州市新鄭市、齊齊哈爾市克山縣、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、宿州市碭山縣
上饒市弋陽(yáng)縣、阜陽(yáng)市阜南縣、銅陵市郊區(qū)、南充市儀隴縣、內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、商丘市夏邑縣、株洲市石峰區(qū)、鄭州市中原區(qū)、遵義市湄潭縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)
常州市武進(jìn)區(qū)、青島市即墨區(qū)、東莞市塘廈鎮(zhèn)、福州市閩侯縣、張家界市慈利縣
廣西欽州市靈山縣、迪慶德欽縣、宿州市埇橋區(qū)、朔州市平魯區(qū)、銅仁市德江縣
贛州市定南縣、北京市平谷區(qū)、寶雞市岐山縣、臨滄市鎮(zhèn)康縣、銅仁市石阡縣、濟(jì)南市長(zhǎng)清區(qū)、海西蒙古族天峻縣、定安縣定城鎮(zhèn)、廣西賀州市平桂區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)
中山市阜沙鎮(zhèn)、郴州市永興縣、上饒市廣豐區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、宣城市旌德縣、寧夏吳忠市青銅峽市、鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、延邊琿春市
廣安市華鎣市、長(zhǎng)春市榆樹市、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、廣安市廣安區(qū)、鹽城市濱?？h、棗莊市薛城區(qū)
宜春市萬(wàn)載縣、贛州市興國(guó)縣、煙臺(tái)市芝罘區(qū)、定安縣定城鎮(zhèn)、晉中市祁縣、重慶市彭水苗族土家族自治縣、佳木斯市樺南縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市興和縣
遼陽(yáng)市遼陽(yáng)縣、廣西柳州市融安縣、徐州市邳州市、晉中市介休市、荊州市荊州區(qū)
廣西賀州市富川瑤族自治縣、上海市松江區(qū)、合肥市包河區(qū)、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、運(yùn)城市垣曲縣、河源市和平縣、廣元市蒼溪縣、葫蘆島市綏中縣、白山市臨江市、畢節(jié)市赫章縣
哈爾濱市依蘭縣、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、鄭州市登封市、臨沂市平邑縣、梅州市蕉嶺縣、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、焦作市沁陽(yáng)市、金華市武義縣、錦州市黑山縣、焦作市山陽(yáng)區(qū)
安陽(yáng)市安陽(yáng)縣、棗莊市薛城區(qū)、湛江市遂溪縣、中山市南區(qū)街道、滁州市定遠(yuǎn)縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、商丘市民權(quán)縣、溫州市瑞安市、吉安市安福縣
長(zhǎng)春市德惠市、濱州市無(wú)棣縣、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、廣西柳州市柳南區(qū)、黑河市嫩江市
哈爾濱市通河縣、隴南市禮縣、中山市港口鎮(zhèn)、荊州市沙市區(qū)、常德市臨澧縣
陽(yáng)泉市城區(qū)、重慶市永川區(qū)、黃岡市黃梅縣、渭南市韓城市、長(zhǎng)春市綠園區(qū)
濟(jì)南市天橋區(qū)、吉林市昌邑區(qū)、江門市江海區(qū)、宿遷市泗洪縣、焦作市解放區(qū)、麗水市縉云縣、焦作市溫縣、延安市子長(zhǎng)市
黔東南雷山縣、河源市紫金縣、成都市雙流區(qū)、麗江市永勝縣、迪慶德欽縣、鞍山市立山區(qū)、哈爾濱市道里區(qū)、東營(yíng)市河口區(qū)
廣西玉林市北流市、平頂山市魯山縣、果洛達(dá)日縣、湘西州保靖縣、甘孜瀘定縣、廣元市劍閣縣、合肥市廬江縣、廣西貴港市覃塘區(qū)
綏化市望奎縣、甘孜石渠縣、梅州市豐順縣、恩施州利川市、盤錦市雙臺(tái)子區(qū)
運(yùn)城市芮城縣、安陽(yáng)市龍安區(qū)、晉中市祁縣、駐馬店市正陽(yáng)縣、大連市莊河市
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、濱州市無(wú)棣縣、定安縣龍湖鎮(zhèn)、駐馬店市上蔡縣、朔州市平魯區(qū)、洛陽(yáng)市洛寧縣、丹東市振安區(qū)、黃石市下陸區(qū)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
相關(guān)推薦：
