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金華市婺城區(qū)、遂寧市射洪市、白山市撫松縣、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、上海市閔行區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)、濰坊市坊子區(qū)、南陽市內(nèi)鄉(xiāng)縣
牡丹江市西安區(qū)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、東營市墾利區(qū)、玉樹玉樹市、洛陽市嵩縣、酒泉市肅北蒙古族自治縣、泉州市洛江區(qū)
大同市云岡區(qū)、開封市通許縣、北京市西城區(qū)、臨汾市曲沃縣、九江市湖口縣、晉中市祁縣、三明市明溪縣、梅州市蕉嶺縣、哈爾濱市平房區(qū)、韶關(guān)市武江區(qū)
濱州市惠民縣、滁州市全椒縣、廣西南寧市橫州市、晉城市城區(qū)、廣元市利州區(qū)、廣西桂林市靈川縣、宜賓市翠屏區(qū)、湛江市遂溪縣
黃岡市英山縣、信陽市淮濱縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市和林格爾縣、德陽市旌陽區(qū)
漳州市長泰區(qū)、武漢市漢南區(qū)、長春市農(nóng)安縣、臨汾市汾西縣、廣州市天河區(qū)、忻州市五臺縣、十堰市房縣、杭州市富陽區(qū)
四平市鐵東區(qū)、涼山會東縣、溫州市洞頭區(qū)、常德市桃源縣、邵陽市洞口縣、廣州市番禺區(qū)、朝陽市北票市
漢中市留壩縣、上海市閔行區(qū)、麗江市寧蒗彝族自治縣、金華市金東區(qū)、合肥市蜀山區(qū)、陽泉市平定縣、聊城市高唐縣、滁州市南譙區(qū)
臺州市臨海市、黃石市黃石港區(qū)、阜新市太平區(qū)、迪慶香格里拉市、黃岡市團風縣、哈爾濱市巴彥縣、安慶市岳西縣
內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、昆明市官渡區(qū)、西安市高陵區(qū)、濱州市沾化區(qū)、哈爾濱市雙城區(qū)、吉安市吉州區(qū)、臨汾市霍州市、臨夏和政縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣
洛陽市欒川縣、荊州市監(jiān)利市、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、濮陽市濮陽縣、廣西崇左市寧明縣、撫順市清原滿族自治縣、新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、鶴崗市南山區(qū)
泉州市豐澤區(qū)、隴南市宕昌縣、黔東南鎮(zhèn)遠縣、寧夏石嘴山市平羅縣、廣西貴港市港南區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣
新鄉(xiāng)市獲嘉縣、大慶市林甸縣、廣西柳州市魚峰區(qū)、黃岡市浠水縣、渭南市大荔縣
黔東南岑鞏縣、文昌市東郊鎮(zhèn)、焦作市孟州市、臨夏臨夏縣、天水市秦安縣
酒泉市肅州區(qū)、棗莊市山亭區(qū)、榆林市綏德縣、十堰市鄖西縣、中山市坦洲鎮(zhèn)
洛陽市欒川縣、中山市民眾鎮(zhèn)、中山市五桂山街道、長春市南關(guān)區(qū)、廣州市黃埔區(qū)、濟寧市任城區(qū)
茂名市化州市、十堰市丹江口市、恩施州建始縣、上饒市信州區(qū)、玉樹稱多縣
廣西百色市田陽區(qū)、黃岡市團風縣、許昌市建安區(qū)、衢州市江山市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、湘西州吉首市、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣
四平市公主嶺市、武漢市江夏區(qū)、濮陽市臺前縣、東莞市南城街道、撫順市撫順縣、畢節(jié)市納雍縣
佛山市南海區(qū)、東莞市莞城街道、葫蘆島市興城市、重慶市永川區(qū)、重慶市北碚區(qū)
南陽市方城縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、三門峽市陜州區(qū)、茂名市化州市、棗莊市山亭區(qū)
衡陽市祁東縣、咸寧市崇陽縣、郴州市安仁縣、濟寧市曲阜市、宜昌市夷陵區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、贛州市上猶縣、漢中市勉縣、黔東南從江縣
泰安市東平縣、洛陽市欒川縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市商都縣、廣西玉林市北流市、涼山金陽縣、陽泉市平定縣
咸陽市禮泉縣、本溪市明山區(qū)、佳木斯市郊區(qū)、邵陽市邵陽縣、宜春市豐城市、成都市新津區(qū)、文昌市文城鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市原陽縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、臺州市黃巖區(qū)
甘南合作市、南昌市東湖區(qū)、常德市澧縣、西安市未央?yún)^(qū)、東方市四更鎮(zhèn)、六安市葉集區(qū)、溫州市平陽縣、齊齊哈爾市依安縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)
綿陽市平武縣、廣西崇左市江州區(qū)、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、贛州市崇義縣、重慶市沙坪壩區(qū)
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渭南市富平縣、屯昌縣新興鎮(zhèn)、達州市達川區(qū)、商洛市商州區(qū)、雞西市虎林市
鶴崗市綏濱縣、湘西州古丈縣、營口市西市區(qū)、無錫市梁溪區(qū)、邵陽市新寧縣、岳陽市平江縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)
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安陽市文峰區(qū)、東莞市寮步鎮(zhèn)、武漢市洪山區(qū)、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗
廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、慶陽市合水縣、嘉興市平湖市、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、許昌市長葛市、甘孜康定市、商洛市商州區(qū)
南平市政和縣、哈爾濱市賓縣、內(nèi)江市市中區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、湘西州鳳凰縣
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溫州市洞頭區(qū)、贛州市贛縣區(qū)、咸陽市禮泉縣、廣西玉林市陸川縣、廣西崇左市扶綏縣、阜新市清河門區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達拉特旗、黃石市黃石港區(qū)、福州市臺江區(qū)、銅仁市德江縣
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深圳半導體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導體新秀，成為2025中國國際半導體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學氣相沉積是半導體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學檢測、光學量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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