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中山市神灣鎮(zhèn)、上饒市德興市、蘭州市七里河區(qū)、連云港市東?？h、哈爾濱市松北區(qū)、廣西欽州市欽北區(qū)
廣西百色市西林縣、清遠(yuǎn)市英德市、甘南臨潭縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、鶴崗市南山區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、黃南尖扎縣
渭南市白水縣、中山市南區(qū)街道、呂梁市興縣、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、茂名市高州市、鹽城市阜寧縣、樂(lè)山市峨邊彝族自治縣、南昌市西湖區(qū)
廣西梧州市長(zhǎng)洲區(qū)、廣西崇左市天等縣、咸陽(yáng)市武功縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、綿陽(yáng)市平武縣、濮陽(yáng)市濮陽(yáng)縣、達(dá)州市宣漢縣、天津市西青區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、衢州市常山縣
涼山喜德縣、黃石市下陸區(qū)、黃南澤庫(kù)縣、漢中市西鄉(xiāng)縣、成都市金堂縣、重慶市奉節(jié)縣、韶關(guān)市南雄市、廣西防城港市東興市、寧德市周寧縣、懷化市通道侗族自治縣
文昌市昌灑鎮(zhèn)、大同市左云縣、廣西玉林市博白縣、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、達(dá)州市達(dá)川區(qū)、平頂山市新華區(qū)
上海市奉賢區(qū)、文昌市文教鎮(zhèn)、聊城市莘縣、重慶市渝北區(qū)、海南貴德縣、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗、哈爾濱市松北區(qū)
昭通市昭陽(yáng)區(qū)、黔西南普安縣、濮陽(yáng)市清豐縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、南京市建鄴區(qū)、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)
駐馬店市上蔡縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣、南陽(yáng)市鎮(zhèn)平縣、丹東市寬甸滿族自治縣、廣西梧州市龍圩區(qū)、甘孜德格縣、寧夏固原市涇源縣
牡丹江市海林市、定西市隴西縣、延邊汪清縣、五指山市南圣、亳州市譙城區(qū)
信陽(yáng)市息縣、臨高縣南寶鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州壤塘縣、咸陽(yáng)市三原縣、長(zhǎng)沙市開(kāi)福區(qū)
泰安市東平縣、連云港市連云區(qū)、徐州市鼓樓區(qū)、商丘市民權(quán)縣、茂名市化州市、上饒市信州區(qū)
樂(lè)東黎族自治縣志仲鎮(zhèn)、駐馬店市上蔡縣、懷化市芷江侗族自治縣、遵義市綏陽(yáng)縣、駐馬店市確山縣、佳木斯市郊區(qū)
太原市尖草坪區(qū)、中山市東區(qū)街道、通化市梅河口市、聊城市茌平區(qū)、汕頭市龍湖區(qū)、岳陽(yáng)市華容縣、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)
齊齊哈爾市泰來(lái)縣、聊城市陽(yáng)谷縣、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、鷹潭市月湖區(qū)、南陽(yáng)市社旗縣、邵陽(yáng)市隆回縣、自貢市自流井區(qū)、慶陽(yáng)市寧縣、本溪市桓仁滿族自治縣
宜昌市五峰土家族自治縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、德州市慶云縣、廣西桂林市象山區(qū)、吉林市舒蘭市、昆明市宜良縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、焦作市沁陽(yáng)市、贛州市石城縣
撫州市崇仁縣、德陽(yáng)市綿竹市、漢中市佛坪縣、呂梁市柳林縣、清遠(yuǎn)市連州市、重慶市九龍坡區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、昭通市水富市、呂梁市石樓縣、重慶市黔江區(qū)
大慶市大同區(qū)、海東市平安區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市喀喇沁旗、信陽(yáng)市平橋區(qū)、連云港市灌云縣
寧波市奉化區(qū)、天津市濱海新區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市賽罕區(qū)、延邊汪清縣、黃石市鐵山區(qū)、寧波市北侖區(qū)、宜賓市敘州區(qū)、澄邁縣福山鎮(zhèn)
婁底市冷水江市、晉城市澤州縣、宜賓市敘州區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、涼山越西縣、廣安市華鎣市、廣州市花都區(qū)
文昌市公坡鎮(zhèn)、宣城市旌德縣、廣州市海珠區(qū)、晉城市陽(yáng)城縣、昆明市官渡區(qū)
揚(yáng)州市江都區(qū)、忻州市岢嵐縣、廣西柳州市融水苗族自治縣、黃石市鐵山區(qū)、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、西安市蓮湖區(qū)、晉中市左權(quán)縣
安慶市宿松縣、甘孜巴塘縣、呂梁市臨縣、銅仁市松桃苗族自治縣、濟(jì)源市市轄區(qū)、三門峽市澠池縣、漳州市龍文區(qū)、齊齊哈爾市甘南縣、鞍山市鐵東區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣
九江市彭澤縣、德州市武城縣、內(nèi)蒙古包頭市昆都侖區(qū)、邵陽(yáng)市新寧縣、六安市葉集區(qū)、隴南市康縣
泉州市石獅市、淮安市盱眙縣、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、駐馬店市平輿縣、成都市新都區(qū)
鶴崗市南山區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、寧夏固原市西吉縣、遵義市赤水市、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、安慶市宜秀區(qū)
恩施州建始縣、葫蘆島市綏中縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、衢州市開(kāi)化縣、呂梁市石樓縣、寧德市福鼎市、揚(yáng)州市江都區(qū)
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楚雄楚雄市、廣西柳州市鹿寨縣、東莞市道滘鎮(zhèn)、金華市磐安縣、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)、上饒市余干縣、晉城市陽(yáng)城縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、中山市港口鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、廣西柳州市城中區(qū)、四平市雙遼市、聊城市高唐縣、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、東營(yíng)市墾利區(qū)、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、咸寧市嘉魚(yú)縣
陵水黎族自治縣椰林鎮(zhèn)、天水市秦州區(qū)、西寧市湟中區(qū)、澄邁縣金江鎮(zhèn)、南平市延平區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、徐州市銅山區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)
中山市南頭鎮(zhèn)、馬鞍山市花山區(qū)、濟(jì)南市商河縣、信陽(yáng)市羅山縣、楚雄雙柏縣、泉州市泉港區(qū)、漯河市臨潁縣、汕尾市海豐縣
臨汾市堯都區(qū)、衢州市龍游縣、廣安市華鎣市、晉中市昔陽(yáng)縣、白山市長(zhǎng)白朝鮮族自治縣
濟(jì)南市天橋區(qū)、廣西桂林市平樂(lè)縣、青島市市北區(qū)、永州市零陵區(qū)、三沙市西沙區(qū)、常州市天寧區(qū)、玉樹(shù)囊謙縣、郴州市汝城縣
周口市項(xiàng)城市、佛山市禪城區(qū)、廣西柳州市柳江區(qū)、大慶市讓胡路區(qū)、濱州市博興縣、大慶市薩爾圖區(qū)
成都市邛崍市、鄭州市滎陽(yáng)市、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、株洲市醴陵市、蕪湖市鳩江區(qū)、西安市周至縣、成都市錦江區(qū)、榆林市米脂縣
洛陽(yáng)市老城區(qū)、衡陽(yáng)市耒陽(yáng)市、昆明市晉寧區(qū)、中山市大涌鎮(zhèn)、重慶市渝中區(qū)、錦州市古塔區(qū)、荊門市掇刀區(qū)、儋州市海頭鎮(zhèn)
寧德市屏南縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、郴州市資興市、茂名市化州市、鷹潭市月湖區(qū)
海北海晏縣、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)、五指山市毛道、廣州市越秀區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、駐馬店市上蔡縣、東莞市沙田鎮(zhèn)、安順市西秀區(qū)、楚雄元謀縣、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)
大慶市大同區(qū)、郴州市蘇仙區(qū)、文昌市東路鎮(zhèn)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、曲靖市沾益區(qū)
三沙市南沙區(qū)、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、菏澤市單縣、泉州市永春縣、衡陽(yáng)市衡南縣
徐州市銅山區(qū)、紅河彌勒市、安康市漢陰縣、濰坊市昌邑市、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、福州市晉安區(qū)
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善右旗、湛江市雷州市、亳州市譙城區(qū)、衡陽(yáng)市衡山縣、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)、咸陽(yáng)市長(zhǎng)武縣
安康市石泉縣、廣西防城港市上思縣、七臺(tái)河市勃利縣、東莞市東城街道、贛州市于都縣、商丘市虞城縣
長(zhǎng)春市朝陽(yáng)區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟二連浩特市、重慶市豐都縣、紹興市柯橋區(qū)、宣城市績(jī)溪縣、紅河個(gè)舊市、日照市五蓮縣
呂梁市汾陽(yáng)市、大慶市龍鳳區(qū)、撫順市順城區(qū)、平頂山市葉縣、忻州市岢嵐縣、吉安市廬陵新區(qū)、貴陽(yáng)市開(kāi)陽(yáng)縣、普洱市墨江哈尼族自治縣
鐵嶺市昌圖縣、三門峽市湖濱區(qū)、撫順市順城區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、遵義市習(xí)水縣
北京市房山區(qū)、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、南陽(yáng)市鄧州市、遼源市東遼縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、天津市和平區(qū)、威海市榮成市、徐州市賈汪區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、北京市昌平區(qū)
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連云港市贛榆區(qū)、松原市長(zhǎng)嶺縣、大連市西崗區(qū)、寧德市福安市、內(nèi)蒙古赤峰市翁牛特旗
濰坊市昌樂(lè)縣、廣州市黃埔區(qū)、綏化市海倫市、張掖市民樂(lè)縣、湛江市霞山區(qū)、張掖市山丹縣
涼山木里藏族自治縣、湛江市吳川市、廣西玉林市興業(yè)縣、慶陽(yáng)市西峰區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、泰安市東平縣、楚雄牟定縣
陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、德宏傣族景頗族自治州芒市、忻州市代縣、株洲市炎陵縣、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、湛江市坡頭區(qū)、陽(yáng)泉市城區(qū)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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