400服務(wù)電話：400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,管家婆100%中獎(jiǎng)澳門
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,最新研究揭示全球氣候變化關(guān)鍵數(shù)據(jù)
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,澳門管家婆100%精準(zhǔn)：(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,新澳2025最精準(zhǔn)正最精準(zhǔn)看(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,2025新澳門天天免費(fèi)
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,銘記歷史珍愛和平共創(chuàng)美好未來
誠(chéng)信為本，口碑相傳：我們堅(jiān)持誠(chéng)信經(jīng)營(yíng)，以誠(chéng)信為本，以優(yōu)質(zhì)的服務(wù)贏得客戶的口碑和信任，讓良好的口碑成為我們最好的宣傳。
嚴(yán)格保密政策：我們嚴(yán)格遵守保密政策，保護(hù)您的個(gè)人信息不被泄露。
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,2025新澳正版資料最新056的資料
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,維修服務(wù)電話全國(guó)服務(wù)區(qū)域：
莆田市荔城區(qū)、太原市迎澤區(qū)、蚌埠市蚌山區(qū)、吉安市泰和縣、廣西崇左市天等縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、黃岡市浠水縣、榆林市神木市、重慶市彭水苗族土家族自治縣
郴州市安仁縣、廣西河池市鳳山縣、臨汾市大寧縣、信陽市息縣、徐州市賈汪區(qū)、榆林市佳縣、濮陽市南樂縣、臨汾市隰縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、淮安市漣水縣
馬鞍山市雨山區(qū)、黃岡市浠水縣、新鄉(xiāng)市牧野區(qū)、湘西州古丈縣、臨汾市永和縣、西安市雁塔區(qū)、湖州市吳興區(qū)
遼陽市文圣區(qū)、東莞市橋頭鎮(zhèn)、涼山鹽源縣、廣西崇左市大新縣、宜賓市筠連縣、貴陽市花溪區(qū)、南陽市新野縣、池州市東至縣、廈門市集美區(qū)
屯昌縣屯城鎮(zhèn)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、瓊海市陽江鎮(zhèn)、江門市恩平市、菏澤市鄆城縣、玉溪市通海縣、樂東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、鹽城市東臺(tái)市、甘孜稻城縣
滁州市定遠(yuǎn)縣、臨汾市大寧縣、阿壩藏族羌族自治州松潘縣、漯河市舞陽縣、佳木斯市樺川縣、商丘市柘城縣、恩施州咸豐縣、運(yùn)城市垣曲縣、宿遷市泗洪縣
東莞市莞城街道、阜新市彰武縣、中山市沙溪鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市長(zhǎng)子縣、濟(jì)南市平陰縣、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、東方市新龍鎮(zhèn)
永州市冷水灘區(qū)、?？谑忻捞m區(qū)、廣西崇左市天等縣、舟山市岱山縣、黔東南凱里市、吉安市遂川縣、嘉興市海寧市
萍鄉(xiāng)市上栗縣、海南同德縣、涼山甘洛縣、懷化市溆浦縣、樂山市馬邊彝族自治縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、寧夏固原市涇源縣、營(yíng)口市鲅魚圈區(qū)
麗水市縉云縣、定安縣嶺口鎮(zhèn)、澄邁縣老城鎮(zhèn)、阜陽市潁東區(qū)、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、合肥市廬江縣、青島市李滄區(qū)、馬鞍山市含山縣、瓊海市石壁鎮(zhèn)、蚌埠市懷遠(yuǎn)縣
黔東南施秉縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、焦作市山陽區(qū)、贛州市南康區(qū)、武漢市黃陂區(qū)、東莞市石碣鎮(zhèn)
黃南同仁市、汕頭市金平區(qū)、紹興市越城區(qū)、滁州市瑯琊區(qū)、紅河個(gè)舊市、黔南甕安縣、馬鞍山市和縣、廣西南寧市邕寧區(qū)、沈陽市鐵西區(qū)
甘孜白玉縣、營(yíng)口市大石橋市、寧夏銀川市西夏區(qū)、定安縣翰林鎮(zhèn)、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、慶陽市慶城縣、韶關(guān)市武江區(qū)、達(dá)州市渠縣
蘭州市紅古區(qū)、文山廣南縣、蚌埠市固鎮(zhèn)縣、鄭州市惠濟(jì)區(qū)、定安縣龍門鎮(zhèn)、天津市河?xùn)|區(qū)
成都市新都區(qū)、吉林市船營(yíng)區(qū)、上海市寶山區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、新鄉(xiāng)市輝縣市、揚(yáng)州市高郵市、鹽城市大豐區(qū)
東莞市石碣鎮(zhèn)、荊州市監(jiān)利市、三門峽市義馬市、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、九江市潯陽區(qū)
杭州市臨安區(qū)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、沈陽市遼中區(qū)、中山市三鄉(xiāng)鎮(zhèn)、常德市桃源縣
衡陽市衡南縣、漯河市臨潁縣、牡丹江市愛民區(qū)、泉州市安溪縣、自貢市貢井區(qū)、平?jīng)鍪谐缧趴h、銅仁市碧江區(qū)、三門峽市澠池縣、衢州市開化縣、曲靖市陸良縣
廣安市前鋒區(qū)、常德市石門縣、重慶市巫山縣、重慶市潼南區(qū)、晉城市沁水縣、撫州市金溪縣
新鄉(xiāng)市獲嘉縣、大慶市林甸縣、廣西柳州市魚峰區(qū)、黃岡市浠水縣、渭南市大荔縣
內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、汕頭市南澳縣、九江市彭澤縣、福州市閩清縣、常州市天寧區(qū)
果洛甘德縣、馬鞍山市雨山區(qū)、陽泉市郊區(qū)、廈門市湖里區(qū)、云浮市羅定市、樂山市井研縣、三門峽市澠池縣、十堰市丹江口市
曲靖市富源縣、洛陽市欒川縣、平?jīng)鍪谐缧趴h、麗水市云和縣、鄭州市上街區(qū)、撫州市崇仁縣、揚(yáng)州市儀征市、西安市蓮湖區(qū)
黔東南丹寨縣、東營(yíng)市墾利區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、咸陽市三原縣、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、惠州市惠城區(qū)、延安市寶塔區(qū)、汕尾市城區(qū)、西安市灞橋區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)
廣西河池市南丹縣、九江市瑞昌市、廣西南寧市武鳴區(qū)、平?jīng)鍪星f浪縣、漳州市長(zhǎng)泰區(qū)、常德市澧縣
內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、鹽城市建湖縣、長(zhǎng)治市沁縣、安康市寧陜縣、遵義市紅花崗區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)
贛州市上猶縣、淄博市周村區(qū)、濟(jì)寧市兗州區(qū)、益陽市南縣、南充市西充縣
400服務(wù)電話：400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,全球科技創(chuàng)新峰會(huì)聚焦未來產(chǎn)業(yè)趨勢(shì)
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,最新政策解讀助力企業(yè)創(chuàng)新發(fā)展
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,新能源企業(yè)推出創(chuàng)新環(huán)保材料解決方案：(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,新澳門平特一肖100期開獎(jiǎng)結(jié)果(1)400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）（2）400-186-5909（點(diǎn)擊咨詢）
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,澳門管家婆100%精準(zhǔn)確
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,一碼一肖一特一中2025
維修后設(shè)備保養(yǎng)建議：根據(jù)設(shè)備的維修情況和客戶的使用習(xí)慣，我們會(huì)提供設(shè)備保養(yǎng)建議，幫助客戶延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命。
環(huán)保維修理念，減少資源浪費(fèi)：我們倡導(dǎo)環(huán)保維修理念，鼓勵(lì)客戶選擇維修而非直接更換新家電，減少資源浪費(fèi)，共同促進(jìn)可持續(xù)發(fā)展。
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,2025澳門精準(zhǔn)正版免費(fèi)大全四不像
新澳門與香港精準(zhǔn)免費(fèi)大全,維修服務(wù)電話全國(guó)服務(wù)區(qū)域：
廣西百色市樂業(yè)縣、紅河石屏縣、肇慶市端州區(qū)、聊城市東阿縣、營(yíng)口市站前區(qū)、眉山市東坡區(qū)、湛江市遂溪縣、自貢市榮縣
銅仁市松桃苗族自治縣、六安市葉集區(qū)、瓊海市嘉積鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、廣西來賓市象州縣、岳陽市岳陽縣、七臺(tái)河市勃利縣、湘潭市岳塘區(qū)、哈爾濱市呼蘭區(qū)、成都市大邑縣
漳州市薌城區(qū)、德州市陵城區(qū)、東營(yíng)市河口區(qū)、哈爾濱市平房區(qū)、哈爾濱市阿城區(qū)、無錫市新吳區(qū)、徐州市云龍區(qū)、深圳市南山區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣
本溪市平山區(qū)、延安市寶塔區(qū)、長(zhǎng)治市沁縣、楚雄元謀縣、錦州市古塔區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣
沈陽市渾南區(qū)、常州市金壇區(qū)、常州市新北區(qū)、大慶市薩爾圖區(qū)、西安市高陵區(qū)、隴南市成縣、宜賓市敘州區(qū)
南陽市唐河縣、大理大理市、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、漢中市漢臺(tái)區(qū)、紅河紅河縣、廣西賀州市昭平縣
海西蒙古族德令哈市、商丘市睢縣、金華市東陽市、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、麗江市古城區(qū)、濰坊市諸城市、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)
株洲市醴陵市、黔西南晴隆縣、衡陽市雁峰區(qū)、宣城市績(jī)溪縣、宜春市高安市、贛州市瑞金市、松原市寧江區(qū)、太原市萬柏林區(qū)、臺(tái)州市路橋區(qū)
廣安市武勝縣、黔西南普安縣、昆明市嵩明縣、天津市西青區(qū)、丹東市鳳城市、臨汾市襄汾縣、寧夏銀川市永寧縣、定西市隴西縣
普洱市景谷傣族彝族自治縣、六安市金安區(qū)、白山市撫松縣、龍巖市武平縣、嘉興市海鹽縣、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、武威市涼州區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、資陽市雁江區(qū)
福州市倉(cāng)山區(qū)、黑河市嫩江市、宿州市泗縣、上饒市萬年縣、棗莊市滕州市、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)
淮南市田家庵區(qū)、聊城市茌平區(qū)、廣西賀州市昭平縣、廣西欽州市浦北縣、寧波市江北區(qū)、白山市撫松縣、伊春市金林區(qū)、衡陽市祁東縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、南陽市南召縣
汕尾市陸河縣、煙臺(tái)市龍口市、鐵嶺市西豐縣、雅安市石棉縣、眉山市洪雅縣、宜賓市珙縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、沈陽市和平區(qū)、淮安市清江浦區(qū)
成都市新津區(qū)、漳州市平和縣、忻州市忻府區(qū)、淮北市相山區(qū)、昭通市永善縣、成都市雙流區(qū)
保山市隆陽區(qū)、佛山市三水區(qū)、鶴崗市興山區(qū)、定安縣新竹鎮(zhèn)、銅仁市玉屏侗族自治縣、儋州市中和鎮(zhèn)、茂名市茂南區(qū)、海北海晏縣
涼山會(huì)理市、巴中市平昌縣、江門市鶴山市、營(yíng)口市鲅魚圈區(qū)、成都市蒲江縣、樂東黎族自治縣萬沖鎮(zhèn)、濰坊市昌樂縣、昆明市東川區(qū)、甘孜丹巴縣、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)
宜昌市夷陵區(qū)、合肥市包河區(qū)、中山市沙溪鎮(zhèn)、金華市浦江縣、德州市德城區(qū)、紅河開遠(yuǎn)市
南京市浦口區(qū)、延邊安圖縣、廣西欽州市欽北區(qū)、九江市湖口縣、宜昌市遠(yuǎn)安縣、福州市鼓樓區(qū)、威海市文登區(qū)、鶴崗市興安區(qū)
東莞市高埗鎮(zhèn)、廣州市海珠區(qū)、南京市秦淮區(qū)、遼陽市宏偉區(qū)、臨汾市安澤縣
文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、廣州市天河區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣、銅仁市萬山區(qū)、無錫市江陰市、涼山雷波縣、重慶市長(zhǎng)壽區(qū)、湘西州花垣縣、綿陽市游仙區(qū)
太原市迎澤區(qū)、安慶市大觀區(qū)、東莞市道滘鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市康巴什區(qū)、臺(tái)州市三門縣
菏澤市成武縣、宜昌市遠(yuǎn)安縣、寶雞市渭濱區(qū)、四平市公主嶺市、肇慶市端州區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)
雙鴨山市嶺東區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)、撫順市清原滿族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、廣西百色市右江區(qū)、寧波市余姚市、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、新鄉(xiāng)市原陽縣
大連市甘井子區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、安慶市迎江區(qū)、臨沂市沂南縣、汕頭市潮南區(qū)、揭陽市普寧市、果洛久治縣
上海市閔行區(qū)、棗莊市臺(tái)兒莊區(qū)、朔州市懷仁市、成都市簡(jiǎn)陽市、綿陽市鹽亭縣、哈爾濱市平房區(qū)
濟(jì)寧市曲阜市、無錫市江陰市、肇慶市懷集縣、棗莊市薛城區(qū)、駐馬店市遂平縣、上海市徐匯區(qū)、海西蒙古族都蘭縣、合肥市長(zhǎng)豐縣
淮南市大通區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、平頂山市石龍區(qū)、許昌市禹州市、廣西來賓市合山市、鄭州市滎陽市、連云港市連云區(qū)、菏澤市定陶區(qū)、昆明市祿勸彝族苗族自治縣、鞍山市岫巖滿族自治縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
相關(guān)推薦：
