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岳陽市君山區(qū)、上饒市信州區(qū)、忻州市定襄縣、龍巖市新羅區(qū)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣、慶陽市鎮(zhèn)原縣、廣州市海珠區(qū)、大同市云岡區(qū)、宣城市寧國市
上海市奉賢區(qū)、鹽城市鹽都區(qū)、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、福州市福清市、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市磴口縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、甘南卓尼縣、曲靖市師宗縣、文山文山市
紅河元陽縣、佳木斯市東風區(qū)、洛陽市偃師區(qū)、文山馬關(guān)縣、萍鄉(xiāng)市蓮花縣
德宏傣族景頗族自治州盈江縣、郴州市永興縣、呂梁市興縣、駐馬店市正陽縣、洛陽市老城區(qū)、撫州市金溪縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗、慶陽市華池縣、五指山市南圣
泰安市東平縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、伊春市大箐山縣、哈爾濱市松北區(qū)、廣西來賓市合山市、南通市海門區(qū)
成都市簡陽市、曲靖市富源縣、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎蘭屯市、宜賓市翠屏區(qū)
海西蒙古族烏蘭縣、雙鴨山市四方臺區(qū)、漢中市漢臺區(qū)、福州市永泰縣、重慶市潼南區(qū)、運城市河津市、武威市古浪縣、本溪市南芬區(qū)、蕪湖市灣沚區(qū)、吉林市昌邑區(qū)
德州市德城區(qū)、南通市海安市、遵義市赤水市、南充市順慶區(qū)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、太原市小店區(qū)、鞍山市立山區(qū)、贛州市會昌縣、常州市溧陽市、廣西北海市合浦縣
襄陽市宜城市、張掖市甘州區(qū)、杭州市余杭區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁左翼中旗、南通市如皋市、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、鷹潭市月湖區(qū)、南陽市淅川縣、撫順市東洲區(qū)
安慶市宜秀區(qū)、大理賓川縣、定西市安定區(qū)、寶雞市鳳翔區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、永州市冷水灘區(qū)、泰安市寧陽縣
自貢市榮縣、文昌市文教鎮(zhèn)、蘇州市吳江區(qū)、紅河瀘西縣、四平市梨樹縣、南陽市臥龍區(qū)、重慶市大足區(qū)、太原市萬柏林區(qū)
江門市新會區(qū)、衢州市開化縣、呂梁市汾陽市、韶關(guān)市新豐縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市涼城縣、煙臺市芝罘區(qū)、廣西柳州市柳北區(qū)
宿州市泗縣、寧波市江北區(qū)、文昌市東閣鎮(zhèn)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)、朔州市懷仁市、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、新鄉(xiāng)市衛(wèi)濱區(qū)、甘孜雅江縣、汕頭市南澳縣
哈爾濱市平房區(qū)、湘潭市湘鄉(xiāng)市、武漢市東西湖區(qū)、東方市八所鎮(zhèn)、馬鞍山市和縣、黑河市愛輝區(qū)、十堰市丹江口市
濮陽市南樂縣、隴南市成縣、樂東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、曲靖市會澤縣、天津市南開區(qū)、臨汾市隰縣、臺州市椒江區(qū)
寧夏中衛(wèi)市中寧縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、韶關(guān)市樂昌市、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、朝陽市雙塔區(qū)
安慶市望江縣、重慶市酉陽縣、昆明市富民縣、呂梁市興縣、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、濱州市鄒平市、廣西來賓市忻城縣、攀枝花市東區(qū)、岳陽市岳陽縣、佳木斯市樺川縣
撫順市撫順縣、煙臺市芝罘區(qū)、滁州市來安縣、池州市貴池區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、怒江傈僳族自治州福貢縣、上饒市鄱陽縣
阜新市清河門區(qū)、伊春市南岔縣、樂山市犍為縣、文山馬關(guān)縣、保山市隆陽區(qū)、安陽市內(nèi)黃縣、臨汾市堯都區(qū)
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揚州市高郵市、牡丹江市陽明區(qū)、吉安市峽江縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟額濟納旗、三明市永安市、營口市大石橋市、長治市沁縣、重慶市江北區(qū)、臺州市臨海市
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紅河彌勒市、郴州市永興縣、長沙市望城區(qū)、永州市江華瑤族自治縣、湛江市徐聞縣、昆明市富民縣、孝感市孝南區(qū)
成都市錦江區(qū)、安陽市滑縣、渭南市潼關(guān)縣、七臺河市勃利縣、黔西南興義市、安陽市內(nèi)黃縣、楚雄元謀縣、廣安市華鎣市
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岳陽市臨湘市、淮南市大通區(qū)、北京市大興區(qū)、上饒市玉山縣、永州市零陵區(qū)、安陽市北關(guān)區(qū)
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齊齊哈爾市泰來縣、梅州市梅江區(qū)、長治市襄垣縣、定安縣龍門鎮(zhèn)、東莞市大嶺山鎮(zhèn)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示，“當前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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