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直轄縣天門(mén)市、廣西桂林市臨桂區(qū)、普洱市景谷傣族彝族自治縣、文昌市潭牛鎮(zhèn)、池州市石臺(tái)縣、重慶市合川區(qū)
北京市懷柔區(qū)、湖州市吳興區(qū)、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、重慶市渝北區(qū)、漢中市勉縣、重慶市大渡口區(qū)
曲靖市會(huì)澤縣、湘西州永順縣、莆田市城廂區(qū)、齊齊哈爾市依安縣、廣西賀州市八步區(qū)、宿州市靈璧縣、重慶市合川區(qū)、寧夏吳忠市鹽池縣、南昌市南昌縣
白城市通榆縣、遵義市湄潭縣、安慶市大觀區(qū)、文昌市錦山鎮(zhèn)、十堰市丹江口市、湘潭市岳塘區(qū)、漳州市龍海區(qū)、瀘州市瀘縣
黔東南鎮(zhèn)遠(yuǎn)縣、文昌市公坡鎮(zhèn)、大理洱源縣、東莞市萬(wàn)江街道、漳州市東山縣、衢州市開(kāi)化縣、亳州市利辛縣、海北祁連縣
馬鞍山市博望區(qū)、湛江市赤坎區(qū)、內(nèi)江市東興區(qū)、蕪湖市繁昌區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、咸陽(yáng)市淳化縣、寧德市福鼎市
成都市邛崍市、太原市杏花嶺區(qū)、泰州市泰興市、寧夏固原市涇源縣、通化市柳河縣
曲靖市宣威市、黔東南雷山縣、阜陽(yáng)市潁泉區(qū)、哈爾濱市尚志市、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、日照市東港區(qū)、臨夏和政縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市海拉爾區(qū)、杭州市富陽(yáng)區(qū)、玉溪市華寧縣、南昌市青云譜區(qū)、淮北市濉溪縣、安陽(yáng)市龍安區(qū)、黔東南黎平縣、阿壩藏族羌族自治州紅原縣
晉中市太谷區(qū)、雞西市麻山區(qū)、長(zhǎng)沙市長(zhǎng)沙縣、四平市梨樹(shù)縣、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、鶴壁市?？h、湘西州古丈縣、濰坊市寒亭區(qū)、大理賓川縣
重慶市潼南區(qū)、東莞市常平鎮(zhèn)、眉山市丹棱縣、咸陽(yáng)市禮泉縣、益陽(yáng)市沅江市
杭州市建德市、成都市都江堰市、咸陽(yáng)市彬州市、沈陽(yáng)市沈北新區(qū)、青島市李滄區(qū)、大慶市林甸縣、昭通市鹽津縣、河源市和平縣、駐馬店市上蔡縣
湛江市霞山區(qū)、馬鞍山市含山縣、運(yùn)城市河津市、南平市光澤縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)
武威市涼州區(qū)、忻州市偏關(guān)縣、榆林市靖邊縣、宿州市靈璧縣、鶴崗市工農(nóng)區(qū)、四平市公主嶺市、廣元市朝天區(qū)、漯河市郾城區(qū)、郴州市北湖區(qū)
廣西河池市環(huán)江毛南族自治縣、澄邁縣加樂(lè)鎮(zhèn)、蘭州市城關(guān)區(qū)、昌江黎族自治縣烏烈鎮(zhèn)、阜新市清河門(mén)區(qū)、運(yùn)城市絳縣、晉中市介休市、煙臺(tái)市萊州市
臺(tái)州市黃巖區(qū)、廣西來(lái)賓市象州縣、贛州市章貢區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、甘孜康定市、中山市沙溪鎮(zhèn)
贛州市安遠(yuǎn)縣、曲靖市麒麟?yún)^(qū)、蘭州市紅古區(qū)、廣西百色市凌云縣、武漢市漢陽(yáng)區(qū)、寧波市慈溪市、武漢市江夏區(qū)、北京市密云區(qū)
荊門(mén)市沙洋縣、寶雞市鳳翔區(qū)、大理鶴慶縣、菏澤市曹縣、臨沂市平邑縣、汕頭市濠江區(qū)、臺(tái)州市臨海市、泰安市寧陽(yáng)縣、惠州市博羅縣
寧夏中衛(wèi)市沙坡頭區(qū)、重慶市銅梁區(qū)、廣西桂林市全州縣、東莞市橋頭鎮(zhèn)、錦州市凌海市、雙鴨山市寶山區(qū)、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、黔東南榕江縣
晉中市祁縣、上海市靜安區(qū)、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)、衡陽(yáng)市常寧市、重慶市南川區(qū)、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、泉州市惠安縣
雙鴨山市尖山區(qū)、黃山市徽州區(qū)、湘潭市韶山市、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、大理劍川縣、麗水市青田縣、宜春市靖安縣、天津市寶坻區(qū)、屯昌縣西昌鎮(zhèn)
金昌市永昌縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、濟(jì)南市鋼城區(qū)、銅仁市沿河土家族自治縣、黔南甕安縣、西安市周至縣、廣安市武勝縣、普洱市墨江哈尼族自治縣
贛州市上猶縣、淄博市周村區(qū)、濟(jì)寧市兗州區(qū)、益陽(yáng)市南縣、南充市西充縣
定安縣龍湖鎮(zhèn)、哈爾濱市延壽縣、淮北市杜集區(qū)、淄博市臨淄區(qū)、甘孜丹巴縣
臺(tái)州市三門(mén)縣、十堰市鄖陽(yáng)區(qū)、荊州市松滋市、阿壩藏族羌族自治州理縣、牡丹江市陽(yáng)明區(qū)、宿遷市宿豫區(qū)、曲靖市富源縣、延邊和龍市
呂梁市臨縣、瓊海市潭門(mén)鎮(zhèn)、廣安市鄰水縣、酒泉市肅州區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、內(nèi)江市資中縣、黃山市祁門(mén)縣、曲靖市會(huì)澤縣、吉安市遂川縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、黃岡市團(tuán)風(fēng)縣、黔東南錦屏縣、亳州市渦陽(yáng)縣、東莞市南城街道、成都市彭州市、延安市黃龍縣
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三明市建寧縣、福州市平潭縣、龍巖市武平縣、漳州市龍海區(qū)、深圳市南山區(qū)、鐵嶺市鐵嶺縣、瓊海市博鰲鎮(zhèn)
廈門(mén)市集美區(qū)、定西市臨洮縣、曲靖市馬龍區(qū)、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)、南昌市新建區(qū)、隨州市廣水市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、撫順市新賓滿(mǎn)族自治縣、攀枝花市鹽邊縣、定安縣龍河鎮(zhèn)
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廣西貴港市港南區(qū)、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、廣西貴港市平南縣、昆明市官渡區(qū)、天津市濱海新區(qū)、深圳市龍崗區(qū)
黃山市祁門(mén)縣、達(dá)州市宣漢縣、懷化市芷江侗族自治縣、贛州市龍南市、儋州市光村鎮(zhèn)、甘南迭部縣、駐馬店市平輿縣、泰州市海陵區(qū)、寧夏銀川市金鳳區(qū)、怒江傈僳族自治州瀘水市
韶關(guān)市翁源縣、成都市彭州市、泉州市鯉城區(qū)、洛陽(yáng)市新安縣、宜賓市興文縣、延安市宜川縣、廣西百色市平果市、襄陽(yáng)市老河口市、臨汾市古縣
平頂山市寶豐縣、云浮市云城區(qū)、涼山越西縣、焦作市馬村區(qū)、宜春市豐城市、景德鎮(zhèn)市浮梁縣
紹興市諸暨市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、宜昌市夷陵區(qū)、伊春市豐林縣、嘉興市秀洲區(qū)、上饒市廣豐區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、南京市江寧區(qū)、淮安市淮安區(qū)
萍鄉(xiāng)市蘆溪縣、通化市通化縣、黔東南丹寨縣、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、上海市長(zhǎng)寧區(qū)、上饒市鄱陽(yáng)縣、北京市昌平區(qū)、甘南碌曲縣
瓊海市石壁鎮(zhèn)、云浮市郁南縣、廣西桂林市全州縣、銅陵市銅官區(qū)、駐馬店市正陽(yáng)縣、宿遷市沭陽(yáng)縣
攀枝花市仁和區(qū)、重慶市璧山區(qū)、荊門(mén)市鐘祥市、黔南三都水族自治縣、淄博市張店區(qū)、武漢市江漢區(qū)、上海市靜安區(qū)、蕪湖市鳩江區(qū)、伊春市湯旺縣
三門(mén)峽市湖濱區(qū)、郴州市嘉禾縣、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、重慶市武隆區(qū)、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、黃山市黟縣、商洛市鎮(zhèn)安縣、涼山美姑縣
泰州市姜堰區(qū)、周口市西華縣、甘孜丹巴縣、長(zhǎng)治市沁源縣、懷化市溆浦縣
杭州市淳安縣、鞍山市立山區(qū)、懷化市通道侗族自治縣、貴陽(yáng)市清鎮(zhèn)市、永州市江華瑤族自治縣、長(zhǎng)治市上黨區(qū)、攀枝花市西區(qū)、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、益陽(yáng)市沅江市、太原市尖草坪區(qū)
文昌市鋪前鎮(zhèn)、贛州市石城縣、合肥市瑤海區(qū)、寧夏銀川市西夏區(qū)、綏化市北林區(qū)、延邊圖們市、福州市長(zhǎng)樂(lè)區(qū)、寧夏銀川市永寧縣
南京市鼓樓區(qū)、徐州市鼓樓區(qū)、肇慶市廣寧縣、渭南市韓城市、呂梁市柳林縣、汕頭市潮陽(yáng)區(qū)、東莞市洪梅鎮(zhèn)
西寧市城西區(qū)、伊春市南岔縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟太仆寺旗、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、河源市和平縣、貴陽(yáng)市觀山湖區(qū)
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內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、南京市棲霞區(qū)、漳州市華安縣、天水市張家川回族自治縣、重慶市梁平區(qū)、昌江黎族自治縣十月田鎮(zhèn)、吉安市吉州區(qū)、儋州市排浦鎮(zhèn)、佳木斯市樺南縣
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呂梁市交口縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、徐州市豐縣、上海市寶山區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿(mǎn)洲里市、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、忻州市岢嵐縣
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內(nèi)蒙古赤峰市敖漢旗、常德市石門(mén)縣、廣西桂林市全州縣、東莞市長(zhǎng)安鎮(zhèn)、太原市迎澤區(qū)、贛州市定南縣
涼山金陽(yáng)縣、深圳市鹽田區(qū)、齊齊哈爾市碾子山區(qū)、咸陽(yáng)市永壽縣、駐馬店市正陽(yáng)縣、安康市石泉縣、廣西來(lái)賓市合山市
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶(hù)擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱(chēng)指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿(mǎn)足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱(chēng)，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿(mǎn)足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類(lèi)關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類(lèi)別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類(lèi)產(chǎn)品基本完成客戶(hù)側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類(lèi)是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類(lèi)量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專(zhuān)利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專(zhuān)利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類(lèi)半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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