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廈門市思明區(qū)、德州市夏津縣、臨滄市云縣、撫州市南豐縣、瓊海市萬泉鎮(zhèn)
五指山市水滿、咸陽市長武縣、牡丹江市海林市、麗江市華坪縣、重慶市萬州區(qū)、佛山市順德區(qū)
吉林市舒蘭市、定安縣新竹鎮(zhèn)、鶴崗市興安區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、濟寧市汶上縣、天津市寧河區(qū)、襄陽市宜城市
沈陽市沈北新區(qū)、佳木斯市撫遠市、中山市神灣鎮(zhèn)、迪慶維西傈僳族自治縣、隴南市康縣、咸陽市旬邑縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)
綿陽市北川羌族自治縣、江門市蓬江區(qū)、綏化市北林區(qū)、寶雞市隴縣、重慶市榮昌區(qū)、曲靖市麒麟?yún)^(qū)
遵義市仁懷市、泰州市姜堰區(qū)、海北海晏縣、淮安市洪澤區(qū)、南充市西充縣、綿陽市平武縣
天津市河西區(qū)、九江市瑞昌市、通化市東昌區(qū)、文山廣南縣、?？谑旋埲A區(qū)、廣西河池市羅城仫佬族自治縣、漳州市平和縣、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、恩施州來鳳縣
齊齊哈爾市克東縣、洛陽市欒川縣、韶關(guān)市武江區(qū)、上海市長寧區(qū)、重慶市南岸區(qū)、葫蘆島市龍港區(qū)、衢州市常山縣、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、馬鞍山市含山縣
福州市福清市、淮北市杜集區(qū)、懷化市洪江市、龍巖市永定區(qū)、荊門市沙洋縣、昭通市巧家縣、自貢市沿灘區(qū)、福州市平潭縣
晉中市祁縣、廣西柳州市三江侗族自治縣、珠海市斗門區(qū)、西安市未央?yún)^(qū)、金華市義烏市、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)
新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、昆明市晉寧區(qū)、錦州市凌河區(qū)、揚州市寶應(yīng)縣、滁州市鳳陽縣、長沙市瀏陽市
銅仁市玉屏侗族自治縣、天水市武山縣、貴陽市觀山湖區(qū)、天津市南開區(qū)、定西市安定區(qū)、廣西賀州市富川瑤族自治縣、威海市環(huán)翠區(qū)、梅州市平遠縣
駐馬店市確山縣、六安市金安區(qū)、蕪湖市南陵縣、阜陽市阜南縣、咸寧市嘉魚縣、南通市如皋市
天水市張家川回族自治縣、運城市河津市、濰坊市高密市、涼山昭覺縣、荊門市京山市、大同市云州區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、昭通市永善縣、平頂山市新華區(qū)
泰州市靖江市、日照市嵐山區(qū)、三明市寧化縣、婁底市婁星區(qū)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、遂寧市蓬溪縣、濱州市濱城區(qū)、渭南市華州區(qū)、上海市金山區(qū)
長沙市長沙縣、東莞市麻涌鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、汕頭市濠江區(qū)、淮南市謝家集區(qū)、昭通市水富市、臨夏臨夏縣、婁底市婁星區(qū)、大連市莊河市
內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、濟南市商河縣、重慶市銅梁區(qū)、大同市靈丘縣、福州市羅源縣、南平市建甌市、廣西來賓市興賓區(qū)、貴陽市白云區(qū)
常州市天寧區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、昆明市嵩明縣、曲靖市馬龍區(qū)、大理永平縣、重慶市酉陽縣
齊齊哈爾市龍沙區(qū)、屯昌縣楓木鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)漠河市、樂山市沐川縣、平?jīng)鍪星f浪縣、文昌市文教鎮(zhèn)、黑河市嫩江市
吉安市吉安縣、常德市鼎城區(qū)、廣西玉林市玉州區(qū)、銅川市宜君縣、朝陽市凌源市、贛州市興國縣、溫州市鹿城區(qū)
連云港市海州區(qū)、大同市陽高縣、黔南平塘縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、孝感市安陸市
聊城市臨清市、撫順市撫順縣、南昌市青山湖區(qū)、淄博市高青縣、長春市榆樹市、瀘州市江陽區(qū)、廣西北海市銀海區(qū)
伊春市伊美區(qū)、恩施州建始縣、鄂州市梁子湖區(qū)、泰州市泰興市、白山市渾江區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、寧夏銀川市靈武市
淮安市漣水縣、廣西南寧市青秀區(qū)、黔東南黎平縣、襄陽市保康縣、長沙市瀏陽市、濟寧市鄒城市、蘭州市西固區(qū)
九江市瑞昌市、上饒市橫峰縣、甘孜新龍縣、廣西河池市東蘭縣、淮南市八公山區(qū)
南平市邵武市、淄博市臨淄區(qū)、駐馬店市正陽縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、保山市龍陵縣
許昌市長葛市、南陽市宛城區(qū)、榆林市府谷縣、鞍山市立山區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、廣安市武勝縣、張掖市山丹縣、漳州市南靖縣、阜陽市太和縣
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昭通市永善縣、上海市金山區(qū)、瓊海市博鰲鎮(zhèn)、舟山市嵊泗縣、益陽市桃江縣、寧夏固原市西吉縣
漯河市郾城區(qū)、合肥市廬陽區(qū)、玉樹囊謙縣、煙臺市福山區(qū)、婁底市新化縣、天水市秦州區(qū)、臨高縣波蓮鎮(zhèn)、樂東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、昆明市安寧市、惠州市惠東縣
遼源市龍山區(qū)、嘉峪關(guān)市峪泉鎮(zhèn)、漢中市漢臺區(qū)、中山市黃圃鎮(zhèn)、丹東市鳳城市、泉州市豐澤區(qū)、吉林市磐石市、淄博市淄川區(qū)、商洛市柞水縣、洛陽市欒川縣
日照市五蓮縣、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、信陽市平橋區(qū)、衢州市江山市、畢節(jié)市織金縣、泉州市石獅市
濰坊市壽光市、重慶市南岸區(qū)、錦州市太和區(qū)、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、遼源市東遼縣、上海市奉賢區(qū)、阜新市海州區(qū)、汕頭市澄海區(qū)、婁底市冷水江市
岳陽市平江縣、曲靖市陸良縣、撫州市臨川區(qū)、惠州市博羅縣、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、延安市甘泉縣
益陽市南縣、亳州市蒙城縣、宜賓市興文縣、信陽市淮濱縣、宿遷市宿豫區(qū)
榆林市吳堡縣、溫州市蒼南縣、濰坊市坊子區(qū)、長春市榆樹市、三門峽市湖濱區(qū)、貴陽市白云區(qū)、茂名市信宜市
雙鴨山市四方臺區(qū)、佛山市南海區(qū)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、玉溪市紅塔區(qū)、福州市臺江區(qū)、廣西百色市凌云縣、菏澤市牡丹區(qū)、蘭州市紅古區(qū)、巴中市平昌縣
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東莞市道滘鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特前旗、廣西百色市右江區(qū)、哈爾濱市巴彥縣、株洲市茶陵縣、益陽市沅江市
內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、雞西市麻山區(qū)、朝陽市建平縣、濰坊市坊子區(qū)
濟南市平陰縣、沈陽市和平區(qū)、淄博市高青縣、廣西桂林市象山區(qū)、南平市政和縣、遵義市赤水市、徐州市云龍區(qū)、重慶市榮昌區(qū)、安慶市迎江區(qū)、大慶市大同區(qū)
黃山市歙縣、駐馬店市正陽縣、運城市河津市、新鄉(xiāng)市輝縣市、恩施州巴東縣、信陽市平橋區(qū)、廣西百色市樂業(yè)縣、黃岡市羅田縣
武漢市漢陽區(qū)、漯河市郾城區(qū)、威海市環(huán)翠區(qū)、南昌市灣里區(qū)、自貢市大安區(qū)、運城市稷山縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市武川縣、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、東方市三家鎮(zhèn)、涼山西昌市
甘孜新龍縣、滁州市來安縣、雙鴨山市嶺東區(qū)、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)、雞西市滴道區(qū)、廣州市白云區(qū)、阜陽市太和縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、鷹潭市貴溪市、廣西百色市德?？h
瓊海市會山鎮(zhèn)、常德市臨澧縣、東營市河口區(qū)、泰安市東平縣、朔州市懷仁市、齊齊哈爾市訥河市、雞西市雞東縣、丹東市振興區(qū)
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涼山喜德縣、商丘市民權(quán)縣、鐵嶺市昌圖縣、上海市閔行區(qū)、定西市岷縣、平頂山市舞鋼市、大連市西崗區(qū)、萬寧市北大鎮(zhèn)、海北門源回族自治縣、九江市瑞昌市
淮安市淮陰區(qū)、溫州市鹿城區(qū)、達州市萬源市、江門市蓬江區(qū)、東方市感城鎮(zhèn)、河源市和平縣、萬寧市三更羅鎮(zhèn)
聊城市莘縣、黔西南望謨縣、海東市循化撒拉族自治縣、商丘市寧陵縣、臨夏臨夏市、寧夏固原市彭陽縣、樂山市沙灣區(qū)、鐵嶺市開原市、大慶市紅崗區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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