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茂名市化州市、銅仁市印江縣、衢州市常山縣、聊城市陽(yáng)谷縣、三亞市崖州區(qū)、寶雞市千陽(yáng)縣、臨汾市曲沃縣、黔東南從江縣、濰坊市安丘市、寧德市蕉城區(qū)
樂(lè)山市沙灣區(qū)、錦州市北鎮(zhèn)市、上海市浦東新區(qū)、黔南三都水族自治縣、沈陽(yáng)市康平縣、廣西桂林市灌陽(yáng)縣、金華市義烏市、榆林市米脂縣、蘭州市城關(guān)區(qū)
中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)、寶雞市鳳翔區(qū)、珠海市香洲區(qū)、天津市寶坻區(qū)、眉山市青神縣、陽(yáng)江市陽(yáng)東區(qū)
安慶市懷寧縣、呂梁市離石區(qū)、寧夏銀川市賀蘭縣、臨汾市吉縣、廣西北海市銀海區(qū)
東莞市鳳崗鎮(zhèn)、張掖市民樂(lè)縣、佳木斯市東風(fēng)區(qū)、儋州市南豐鎮(zhèn)、上海市寶山區(qū)、煙臺(tái)市萊山區(qū)、茂名市信宜市、濟(jì)寧市魚(yú)臺(tái)縣、日照市五蓮縣、淮南市八公山區(qū)
內(nèi)蒙古呼和浩特市托克托縣、佳木斯市向陽(yáng)區(qū)、延安市安塞區(qū)、杭州市富陽(yáng)區(qū)、運(yùn)城市平陸縣、安康市漢濱區(qū)、葫蘆島市建昌縣、延安市寶塔區(qū)
畢節(jié)市納雍縣、重慶市永川區(qū)、邵陽(yáng)市武岡市、鐵嶺市昌圖縣、宜春市高安市、陽(yáng)江市江城區(qū)
綿陽(yáng)市游仙區(qū)、贛州市信豐縣、天津市南開(kāi)區(qū)、吉安市廬陵新區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣
延安市吳起縣、中山市板芙鎮(zhèn)、景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、安康市石泉縣、黃南同仁市、東莞市茶山鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古通遼市開(kāi)魯縣、上饒市信州區(qū)、紹興市諸暨市、寧夏吳忠市利通區(qū)、哈爾濱市尚志市
中山市南頭鎮(zhèn)、焦作市解放區(qū)、寧德市福安市、淄博市桓臺(tái)縣、海北門(mén)源回族自治縣、荊州市江陵縣
河源市和平縣、綏化市安達(dá)市、內(nèi)蒙古通遼市奈曼旗、蘇州市虎丘區(qū)、延安市吳起縣、鶴壁市淇縣、廣西柳州市柳南區(qū)、紅河河口瑤族自治縣、大連市甘井子區(qū)
怒江傈僳族自治州瀘水市、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、十堰市茅箭區(qū)、焦作市武陟縣、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、云浮市羅定市、蚌埠市禹會(huì)區(qū)
益陽(yáng)市資陽(yáng)區(qū)、葫蘆島市興城市、定安縣翰林鎮(zhèn)、忻州市偏關(guān)縣、濟(jì)寧市兗州區(qū)、廣西崇左市扶綏縣、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、淮安市淮陰區(qū)、開(kāi)封市龍亭區(qū)
贛州市興國(guó)縣、佛山市禪城區(qū)、哈爾濱市延壽縣、天津市津南區(qū)、新鄉(xiāng)市長(zhǎng)垣市
無(wú)錫市江陰市、常德市桃源縣、麗水市景寧畬族自治縣、漳州市龍文區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、三明市永安市、延邊琿春市、阜陽(yáng)市太和縣、隴南市西和縣
遼陽(yáng)市燈塔市、徐州市賈汪區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)、廣州市白云區(qū)、汕頭市潮南區(qū)
遼源市東遼縣、廣西崇左市扶綏縣、焦作市馬村區(qū)、成都市崇州市、保亭黎族苗族自治縣什玲
馬鞍山市和縣、大連市普蘭店區(qū)、白沙黎族自治縣邦溪鎮(zhèn)、九江市潯陽(yáng)區(qū)、白銀市平川區(qū)、開(kāi)封市蘭考縣、畢節(jié)市織金縣、湘西州瀘溪縣、南昌市灣里區(qū)、廣西柳州市柳城縣
東方市新龍鎮(zhèn)、益陽(yáng)市桃江縣、白山市臨江市、昆明市晉寧區(qū)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、天水市甘谷縣、海西蒙古族茫崖市、西寧市城西區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市五原縣
瀘州市敘永縣、上海市普陀區(qū)、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、慶陽(yáng)市合水縣、隨州市隨縣、廣西欽州市靈山縣、三門(mén)峽市義馬市、荊門(mén)市鐘祥市、內(nèi)蒙古烏海市烏達(dá)區(qū)
牡丹江市西安區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市科爾沁區(qū)、宿州市靈璧縣、本溪市桓仁滿族自治縣、廣西來(lái)賓市忻城縣、廣西南寧市隆安縣、黔南三都水族自治縣、營(yíng)口市西市區(qū)
寧波市象山縣、曲靖市陸良縣、直轄縣仙桃市、白城市大安市、鄭州市新密市、黃岡市羅田縣
河源市源城區(qū)、恩施州建始縣、三沙市西沙區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、錦州市凌海市、株洲市石峰區(qū)、臺(tái)州市路橋區(qū)
常州市金壇區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、玉溪市峨山彝族自治縣、連云港市灌云縣、沈陽(yáng)市和平區(qū)
呂梁市交口縣、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、徐州市豐縣、上海市寶山區(qū)、定安縣富文鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、瓊海市塔洋鎮(zhèn)、忻州市岢嵐縣
延安市宜川縣、臨夏康樂(lè)縣、撫順市望花區(qū)、大連市普蘭店區(qū)、宜昌市當(dāng)陽(yáng)市、天津市北辰區(qū)、白山市臨江市、重慶市榮昌區(qū)、宜昌市伍家崗區(qū)、商丘市睢陽(yáng)區(qū)
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襄陽(yáng)市樊城區(qū)、西安市雁塔區(qū)、常德市漢壽縣、武威市古浪縣、延安市延川縣、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、廣西桂林市臨桂區(qū)、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、荊門(mén)市東寶區(qū)
福州市永泰縣、深圳市寶安區(qū)、鶴壁市淇濱區(qū)、信陽(yáng)市固始縣、九江市濂溪區(qū)
朝陽(yáng)市雙塔區(qū)、重慶市合川區(qū)、吉安市吉安縣、濰坊市昌樂(lè)縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、天津市北辰區(qū)、廣西河池市宜州區(qū)
濟(jì)南市萊蕪區(qū)、贛州市南康區(qū)、東莞市黃江鎮(zhèn)、長(zhǎng)治市沁縣、佳木斯市向陽(yáng)區(qū)、臨汾市襄汾縣
上海市崇明區(qū)、寧夏吳忠市利通區(qū)、涼山越西縣、安康市寧陜縣、陽(yáng)江市陽(yáng)春市、紅河元陽(yáng)縣、保山市昌寧縣、紅河瀘西縣、濟(jì)寧市泗水縣
衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)、丹東市振安區(qū)、葫蘆島市綏中縣、許昌市魏都區(qū)、甘孜新龍縣、漳州市薌城區(qū)、韶關(guān)市仁化縣
甘孜巴塘縣、廣州市越秀區(qū)、松原市寧江區(qū)、萬(wàn)寧市龍滾鎮(zhèn)、南充市順慶區(qū)、商洛市商州區(qū)、渭南市白水縣、文山廣南縣
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟阿巴嘎旗、重慶市江北區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、連云港市海州區(qū)、天津市武清區(qū)、綿陽(yáng)市三臺(tái)縣、丹東市鳳城市
晉中市榆次區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、三亞市崖州區(qū)、杭州市江干區(qū)、黃岡市武穴市、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、惠州市惠陽(yáng)區(qū)、甘南夏河縣
株洲市茶陵縣、福州市馬尾區(qū)、海東市循化撒拉族自治縣、商丘市寧陵縣、雙鴨山市友誼縣、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、湖州市長(zhǎng)興縣、綏化市明水縣、蘭州市皋蘭縣
永州市江永縣、張掖市高臺(tái)縣、丹東市寬甸滿族自治縣、重慶市榮昌區(qū)、寧德市周寧縣、雅安市天全縣、廣西梧州市藤縣、臨滄市鳳慶縣、沈陽(yáng)市大東區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)
廣西賀州市八步區(qū)、岳陽(yáng)市汨羅市、東莞市樟木頭鎮(zhèn)、廣西防城港市東興市、成都市彭州市、南陽(yáng)市南召縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特中旗、忻州市河曲縣、成都市青羊區(qū)
煙臺(tái)市龍口市、樂(lè)東黎族自治縣黃流鎮(zhèn)、臨夏臨夏市、西寧市城中區(qū)、杭州市西湖區(qū)、萬(wàn)寧市北大鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、遼陽(yáng)市白塔區(qū)
杭州市臨安區(qū)、瀘州市龍馬潭區(qū)、深圳市羅湖區(qū)、撫州市資溪縣、佳木斯市郊區(qū)、銅陵市義安區(qū)、重慶市梁平區(qū)、德州市武城縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)
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臨汾市安澤縣、安康市漢陰縣、黔東南錦屏縣、泰州市靖江市、牡丹江市穆棱市
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東莞市樟木頭鎮(zhèn)、文山硯山縣、德陽(yáng)市廣漢市、樂(lè)山市夾江縣、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、內(nèi)江市隆昌市、龍巖市上杭縣
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樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、揚(yáng)州市儀征市、廈門(mén)市集美區(qū)、臨高縣加來(lái)鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)、寧波市江北區(qū)、萍鄉(xiāng)市湘東區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、太原市晉源區(qū)
淮南市壽縣、隴南市文縣、漳州市薌城區(qū)、德陽(yáng)市廣漢市、鞍山市岫巖滿族自治縣、臨汾市侯馬市、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣
安慶市太湖縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、哈爾濱市依蘭縣、運(yùn)城市夏縣、宿遷市沭陽(yáng)縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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