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撫州市資溪縣、鐵嶺市調(diào)兵山市、益陽市桃江縣、大同市渾源縣、南充市西充縣、泉州市石獅市、合肥市蜀山區(qū)、樂山市金口河區(qū)、昆明市宜良縣
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六盤水市盤州市、涼山會東縣、七臺河市茄子河區(qū)、臨沂市蘭陵縣、南充市營山縣、九江市廬山市、綿陽市安州區(qū)、撫州市樂安縣、商洛市柞水縣、廣西河池市都安瑤族自治縣
瓊海市中原鎮(zhèn)、伊春市豐林縣、廣西崇左市憑祥市、株洲市攸縣、十堰市張灣區(qū)
濰坊市壽光市、河源市源城區(qū)、忻州市五臺縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、文昌市翁田鎮(zhèn)、大理云龍縣
遵義市紅花崗區(qū)、鄭州市新密市、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、上饒市婺源縣、黃石市鐵山區(qū)、黔南長順縣、貴陽市清鎮(zhèn)市、內(nèi)蒙古赤峰市紅山區(qū)、廣西崇左市憑祥市、徐州市泉山區(qū)
遵義市桐梓縣、洛陽市伊川縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市巴林左旗、北京市通州區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、五指山市水滿
洛陽市伊川縣、文昌市蓬萊鎮(zhèn)、德陽市什邡市、天水市武山縣、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、北京市豐臺區(qū)
寧德市壽寧縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、荊州市松滋市、廣西崇左市寧明縣、昆明市尋甸回族彝族自治縣、平頂山市寶豐縣、丹東市東港市、汕頭市潮南區(qū)、銅陵市樅陽縣、遼陽市白塔區(qū)
通化市通化縣、濟寧市汶上縣、廣西桂林市靈川縣、玉樹稱多縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、廣元市利州區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)
重慶市銅梁區(qū)、白山市臨江市、東莞市清溪鎮(zhèn)、延安市富縣、南昌市南昌縣、雙鴨山市四方臺區(qū)、大興安嶺地區(qū)呼瑪縣、廣西桂林市平樂縣、上饒市橫峰縣
南通市如東縣、煙臺市蓬萊區(qū)、伊春市友好區(qū)、淮安市洪澤區(qū)、果洛瑪多縣
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準格爾旗、昭通市巧家縣、屯昌縣南呂鎮(zhèn)、綿陽市江油市、成都市成華區(qū)、池州市東至縣、馬鞍山市花山區(qū)
莆田市仙游縣、晉城市陵川縣、漯河市臨潁縣、福州市晉安區(qū)、吉安市青原區(qū)、滁州市南譙區(qū)、延邊安圖縣、東方市板橋鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)
寧夏中衛(wèi)市中寧縣、鎮(zhèn)江市丹徒區(qū)、韶關(guān)市樂昌市、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、朝陽市雙塔區(qū)
曲靖市師宗縣、大慶市讓胡路區(qū)、長治市平順縣、孝感市安陸市、福州市倉山區(qū)、德宏傣族景頗族自治州芒市、大慶市林甸縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀:發(fā)布多款設(shè)備,撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀,成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展(SEMICON China 2025)的焦點。
3月26日-27日,深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品,包括外延沉積設(shè)備EPI(峨眉山)、原子層沉積設(shè)備ALD(阿里山)、物理氣相沉積設(shè)備PVD(普陀山)、刻蝕設(shè)備ETCH(武夷山)、薄膜沉積設(shè)備CVD(長白山)。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面,首次參展便發(fā)布了多款新品,吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示,新凱來工業(yè)成立于2022年,其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年,兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股,而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝,直接影響芯片性能與可靠性;ALD針對原子級薄膜沉積,是5納米以下先進制程的核心裝備;CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一,設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。

這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo),新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上,EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷;ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo),市占率合計超60%;在PVD領(lǐng)域,AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱,新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計,能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制,技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷,在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準,可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布,已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā),并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域,通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’,貫穿集成電路生產(chǎn)全過程,對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?!币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到,隨著制程演進,集成電路前道工藝的步驟越來越多,檢量測重要性日漸凸顯,主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展,需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加,設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如,28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序,而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當晶圓制造工序超過500道時,只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%,最終的良品率方可超過95%;當單道工序的良品率下降至99.98%時,最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計,2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元,在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中,中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元,全球市場規(guī)模占比約33.98%,市場空間廣闊。
但與之形成反差的是,量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出,相較于海外廠商,國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚,當前收入體量較小,國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%,但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速,主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類:一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品,包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示,這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證,2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX(物理和X射線)及功率檢測產(chǎn)品,包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中,PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付,功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示,新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型,覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來,公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月,新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”,解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前,新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責人酈舟劍此前表示,“當前首要解決先進制程問題,國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先,我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過,國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕,也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案,并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極(僅次于上海、北京),但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計,疏于制造。過去幾年,因為國際局勢的變化,深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上,顯露了不少短板,但如今,深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來,深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目,典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺,這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試,以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn),深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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